CR30B 属于 CR 系列中等抽速空冷多级罗茨干式真空泵，采用多级罗茨转子串联无油干式结构，整机强制风冷散热，无需冷却水系统，也不需要轴封氮气供给，接电即可投入运行。该机型兼顾抽速与极限真空，适配洁净空气、惰性气体以及微量水汽工况，多用于中小型镀膜、Load‑Lock 腔体、真空干燥、分析仪器粗抽，不适合强腐蚀、大量升华粉尘工艺。
整机结构
- 多级罗茨转子组件：多组三叶罗茨转子串联排布，转子与泵腔做基础钝化处理，转子之间非接触运转，泵腔内部无油无摩擦；齿轮、轴承润滑仓独立密封隔离，避免油脂挥发窜入泵腔污染真空侧。
- 一体式空冷散热结构：配置散热风道与散热风扇，依靠空气对流带走泵体压缩产生热量，无需水冷管路、冷却水配套，降低厂房基建投入。
- 可调气镇机构：标配气镇接口，通入少量干燥空气，稀释泵腔内水蒸气，实现微量水蒸气抽除。
‑DC 屏蔽密封电机：轻量化屏蔽电机，密封性好，功耗表现优异，支持单相、三相多种供电条件，整机运行振动低。
- 集成电控单元：具备过热、过载故障报警输出，配备远程信号接口，支持对接产线 PLC 实现设备状态监控。
‑进出气法兰：进气 KF40，排气 KF40；机身内置排气消音组件，整机底部带万向脚轮，设备移位、现场摆放灵活便捷。
工作原理
电机驱动多组同步反向旋转的三叶罗茨转子，形成多段串联压缩腔。转子旋转带动容腔容积周期性变化，气体由进气口吸入，依次经过各级罗茨泵腔完成容积式压缩，直接压缩至常压向外排出，无需额外配置前级真空泵。
转子全程无接触运转，泵腔内部不使用润滑油，从根源杜绝油雾返流污染工艺腔体。整机依靠风冷风道带走压缩热量，控制泵体温升；处理水汽工况时开启气镇机构，混入干燥空气降低水蒸气分压，避免水汽在泵腔内部凝结。设备支持大气压至极限真空全压力区间运行，适配中小型腔体反复抽气、复压循环工况。
核心性能参数
*大抽速：30m³/h（50Hz）
极限到达压力：≤0.5Pa
电机功率：1.5kW
电源规格：单相 100V/200V、三相 200V，50/60Hz
冷却方式：强制空冷，无需冷却水
气镇机构：内置可调气镇，*大水蒸气处理量 300g/h
进气法兰：KF40，排气法兰：KF40
整机重量：48kg
工作环境温度：7‑40℃
产品核心优势
1. 无油干式排气，泵腔无润滑油介入，不会产生油雾返流，保障腔体、工件洁净。
2. 空冷设计，无需冷却水、无需轴封氮气，减少配套设备与耗材投入，现场安装仅需接通电源。
3. 多级罗茨直排大气，不用搭配前级泵，简化中小型真空系统配置。
4. 整机体积紧凑，带移动脚轮，摆放移位灵活，便于设备机架集成、实验室场景使用。
5. 标配气镇功能，可应对微量水汽工况，拓展干燥类工艺使用边界。
6. 具备故障报警输出，支持 PLC 信号交互；模块化结构维护简单，既可以独立作为主泵，也可充当分子泵的前级泵。
典型应用场景
中小型溅射、蒸镀真空镀膜设备；
中小型 Load‑Lock 负载锁腔排气；
真空干燥、物料脱气、罐体气体置换；
氦检漏设备粗抽单元；
分析仪器、电子显微镜真空粗抽；
科研实验室真空腔体、试样热处理设备。
使用注意事项
本机无高温防腐结构，仅适用于空气、氮气等洁净惰性气体，禁止处理卤素、强腐蚀气体、大量升华粉尘介质；
水汽工况必须开启气镇机构，不可处理大流量水蒸气；
严禁直接抽吸大量液态液体，液体进入泵腔会造成转子不可逆损伤；
风冷散热风扇需要定期清理灰尘，防止风道堵塞造成泵体过热；
进气前端存在粉尘风险时必须加装过滤装置；
按照工况负荷定期检查电气、气镇通路，开展常规保养维护。
