Kashiyama（樫山工业）SD 系列干式真空泵

日本樫山工业（Kashiyama）旗下严苛制程专用干式螺杆真空泵，主打高耐腐蚀、超低功耗、小型化、高真空，面向半导体、化工、热处理等高要求工业场景

一、产品概述

核心定位

• 泵型类别：立式螺杆干式真空泵（无油、无水汽污染）
• 核心特性：高耐蚀合金 + 氟陶瓷涂层、低功耗、小型化、高真空、长寿命
• 运行范围：抽速 10,000～100,000 L/min，极限真空 0.3～0.5 Pa，三相 200‑220V/50‑60Hz，连续运行
• 核心优势：同级别占地*小（缩 35%）、耐强酸强碱、低能耗（1.5～3.7kW）、全系列 SEMI/CE 合规、维护周期长

二、核心特性

1. 三重耐腐蚀技术，适配严苛化工 / 半导体制程

• 泵腔主体采用高纯度镍基合金，耐强酸强碱较普通不锈钢提升 60%+。
• 转子与泵腔内壁氟基复合陶瓷涂层，耐温 130℃，长期冲刷不脱落、不开裂。
• 螺杆等螺距变截面设计，减少腐蚀介质残留，适配含微量颗粒的腐蚀性气体。

2. 超低功耗 + 软启动，节能显著

• 功耗 1.5～3.7kW，较同级别干泵节能 20%～30%，SDX 节能款适配热处理与一般制程。
• 软启动设计，启动电流低，无空载损耗，适配间歇 / 连续双模式运行。

3. 立式紧凑结构，占地*小化

• 20,000 L/min 级机型占地面积较前代缩减 35%，标配脚轮，移动部署灵活。
• 立式螺杆布局，重心稳定，振动低，适合洁净厂房与精密设备邻接安装。

4. 高真空 + 稳定抽速，制程一致性强

• 极限真空 0.3 Pa（SDT）/0.5 Pa（SDX/SDH），全压力区间抽速稳定。
• 无油设计，无油雾返染，适配半导体沉积、刻蚀、退火等高洁净制程樫山工业。

5. 长寿命 + 易维护，降低 TCO

• 设计寿命 ≥20,000 小时，涂层与转子耐磨耐腐，维护周期长。
• 氮气吹扫（0～120 SLM）防凝结、防沉积；低冷却水量（3～4 L/min），运维成本低。

6. 国际**合规，适配全球工厂

• 符合 SEMI、CE、NRTL 等国际规格，绝缘等级高，防护可靠。

• 核心型号谱系及关键参数

  型号	*大抽速（L/min）	极限真空（Pa）	功耗（kW）	冷却水量（L/min）	氮气吹扫（SLM）
  SDX600	10,000	0.5	1.5	3.0	0～80
  SDT600	18,000	0.3	3.0	4.0	0～120
  SDX1200	19,000	0.5	1.65	3.0	0～80
  SDT1200	30,000	0.3	3.15	4.0	0～120
  SDX1800	50,000	0.5	2.1	3.0	0～80
  SDT1800	50,000	0.3	3.3	4.0	0～120
  SDH3000	60,000	0.5	3.3	4.0	0～120
  SDH6000	100,000	0.5	3.7	4.0	0～

  1. 性能参数（25℃，标准配置）

  
  

  参数名称	SDX600	SDT600	SDX1200	SDT1200	SDH6000
  供电电压	三相 AC200‑220V±10%/50‑60Hz	同左	同左	同左	同左
  *大抽速（L/min）	10,000	18,000	19,000	30,000	100,000
  极限真空（Pa）	0.5	0.3	0.5	0.3	0.5
  功耗（kW）	1.5	3.0	1.65	3.15	3.7
  冷却水量（L/min）	3.0	4.0	3.0	4.0	4.0
  氮气吹扫（SLM）	0～80	0～120	0～80	0～120	0～120
  噪音（dB (A)）	≤58	≤60	≤58	≤60	≤62
  运行方式	连续	连续	连续	连续	连续
  设计寿命（小时）	≥20,000	≥20,000	≥20,000	≥20,000	≥20,000

  
  

  五、结构与外观

  1. 内部结构（核心设计）

  • 核心组件：立式螺杆转子、镍基合金泵腔、氟陶瓷涂层、驱动电机、冷却水道、氮气吹扫接口、排气消音器、控制柜。
  • 工作原理：电机驱动一对等螺距变截面螺杆同步旋转，腔体容积周期性变化，实现气体吸入、压缩、排出；无油干式运行，氮气吹扫防止腐蚀与凝结，冷却系统控制泵体温度，保障长期稳定。

  • 六、应用场景

    1. 半导体与 FPD 制程

    • 刻蚀、沉积、退火、离子注入、光刻胶去除、薄膜生长等高洁净 / 腐蚀性制程。
    • 无油、高真空、耐氟 / 氯 / 酸碱气体，无返染风险，符合半导体洁净标准。

    2. 化工与精细化工

    • 蒸馏、精馏、干燥、脱气、反应釜真空、腐蚀性气体输送（SO₂、HCl、NH₃ 等）。
    • 镍基合金 + 氟涂层，耐强腐蚀，适配含微量颗粒介质，长周期连续运行。

    3. 热处理与冶金

    • 真空淬火、回火、退火、钎焊、烧结、真空熔炼、气氛控制。
    • SDX 节能款适配常规热处理，低功耗降低运行成本。

    4. 光伏与新能源

    • 晶硅 / 薄膜电池制程、真空镀膜、硅片清洗、扩散、PECVD。
    • 高真空稳定抽速，适配大产能生产线，维护周期长。

    5. 科研与**制造

    • 实验室高真空系统、模拟环境、精密仪器配套、航天部件测试。
    • 极限真空低至 0.3 Pa，无油洁净，振动低，适配精密设备邻接。