Kashiyama（樫山工业）MU 系列干式真空泵

日本樫山工业（Kashiyama）旗下超小型、超低功耗水冷式干式真空泵，主打全球*小体积、*低能耗、高真空、易集成，面向半导体、FPD、精密设备配套等**制程场景

一、产品概述

核心定位

• 泵型类别：卧式螺杆水冷干式真空泵（无油、无水汽污染）
• 核心特性：超小型化、超低功耗、高真空、水冷降温、长寿命、易集成
• 运行范围：抽速 10,000～50,000 L/min，极限真空 0.5 Pa，三相 200‑220V/50‑60Hz，连续运行
• 核心优势：同级别体积*小（缩 40%）、能耗*低（0.8～1.6kW）、噪音低（≤55dB）、维护极简、适配严苛洁净制程

二、核心特性

1. **小型化，全球同体积*小

• 整机尺寸 230×450×275mm（MUP600E），较传统干泵体积缩小 40%，可直接嵌入设备腔体，无需额外机房。
• 卧式紧凑布局，重心低，振动极小，适配精密仪器邻接安装与洁净厂房空间规划。

2. 超低功耗 + 节能电机，运行成本极低

• 功耗 0.8～1.6kW，较同级别干泵节能 30%～40%，MUP600E 仅 0.8kW，适配长时间连续运行。
• 搭载高效同步电机 + 软启动，启动电流低，无空载损耗，间歇 / 连续双模式均节能。

3. 水冷降温 + 稳定高真空，制程一致性强

• 水冷系统流量仅 2 L/min，降温效率高，泵体温度稳定 ≤45℃，适配高温气体与长时间运行。
• 极限真空 0.5 Pa，全压力区间抽速稳定，无油设计无油雾返染，适配半导体沉积、刻蚀等高洁净制程。

4. 长寿命 + 易维护，降低 TCO

• 设计寿命 ≥25,000 小时，螺杆与泵腔耐磨耐腐蚀，维护周期长。
• 氮气吹扫（0～60 SLM）防凝结、防沉积；模块化设计，易损件少，维护仅需常规清洁与密封检查。

5. 国际**合规，适配全球工厂

• 符合 SEMI、CE、NRTL 等国际规格，绝缘等级高，防护可靠，适配全球**制造场景。

• 结构与外观

  1. 内部结构（核心设计）

  • 核心组件：卧式螺杆转子、铸铝泵腔、高效同步电机、水冷通道、氮气吹扫接口、排气消音器、模块化控制柜。
  • 工作原理：电机驱动一对等螺距螺杆同步旋转，腔体容积周期性变化，实现气体吸入、压缩、排出；无油干式运行，水冷系统控制泵体温度，氮气吹扫防止腐蚀与凝结，保障长期稳定。

  • 六、应用场景

    1. 半导体与 FPD 制程

    • 刻蚀、沉积、退火、离子注入、光刻胶去除、薄膜生长等高洁净 / 低腐蚀制程。
    • 无油、高真空、低噪振动，无返染风险，符合半导体洁净标准，适配设备内置集成。

    2. 精密设备与仪器配套

    • 真空镀膜机、真空焊接机、真空封装设备、精密检测仪器、实验室高真空系统。
    • 超小体积可嵌入设备内部，低功耗适配长时间运行，振动低不影响精密检测。

    3. 光伏与新能源

    • 晶硅 / 薄膜电池制程、真空镀膜、硅片清洗、扩散、PECVD。
    • 高真空稳定抽速，适配大产能生产线，维护周期长，降低运维成本。

    4. 科研与**制造

    • 实验室高真空系统、模拟环境、航天部件测试、精密光学仪器配套。
    • 极限真空 0.5 Pa，无油洁净，振动低，适配精密设备邻接安装。

    5. 电子与精密加工

    • 真空吸附装置、真空成型、真空干燥、电子元件真空封装。
    • 小型化易集成，低能耗降低运行成本，适配电子厂房洁净环境