ULVAC（爱发科）MS 系列是耐腐蚀型单级螺杆干式真空泵，在传统 LS 系列基础上强化耐粉尘、耐酸碱腐蚀能力，主打中高真空、无油洁净、强排粉，定位对标大晃 MDP，核心用于半导体、锂电、光伏、化工等含腐蚀 / 粉尘的严苛制程。

核心特点（爱发科独有设计）

1. 高防腐 + 强排粉设计
   • 转子 / 气缸：氮化硅 + 陶瓷复合涂层，耐 HCl、HF、有机溶剂，寿命比普通干泵长2–3 倍。
   • 螺杆型线：深螺槽 + 大间隙，防粉尘卡泵，适配刻蚀 / 去胶 / 扩散等含颗粒工况。
2. 全压力域稳定运行
   • 大气压→极限真空连续运行，无喘振；高进气压力下抽速大，抽气时间短。
3. 低噪节能 + 易维护
   • 内置消音器：61–64 dB(A)，安静运行。
   • 水冷 + 气冷双冷却，24h 连续运行；模块化结构，拆装简单，维护成本低。

• 电源：三相 200V/400V，50/60Hz。
• 冷却水量：≥4 L/min；吹扫气：0–50 SLM（防凝液 / 粉尘）。

四、MS 系列 vs 爱发科内部系列（LS/DIS）

1. 半导体 / 电子（主力场景）

• 刻蚀（Etch）、去胶（Ashing）、等离子清洗：MS600A/MS1200A，排粉 + 防腐，适配氟 / 氯系气体。
• 晶圆退火、脱气、CVD：MS120A/MS600A，高真空洁净排气。

2. 锂电 / 新能源

• 极片真空烘干、电芯脱气、电解液脱泡：MS120A/MS600A，耐电解液腐蚀。
• 电池封装检漏、注液系统负压：MS600A，大抽速快速抽气。

3. 光伏 / FPD

• 硅片拉晶、PECVD、AR 镀膜：MS600A/MS1200A，耐硅尘 + 高真空。
• OLED 蒸镀、玻璃基板镀膜：MS600A，洁净无油、低污染。

4. 化工 / 医药

• 真空蒸馏、减压浓缩、溶剂回收：MS120A/MS600A，耐有机溶剂。
• 医药冻干、真空干燥：MS120A，洁净无油、低噪。

MS 系列 vs 大晃 MDP 选型对照（同场景替代）