ULVAC（爱发科）LR 系列是标准型低温多级罗茨干式真空泵，定位介于经济型 GR 与高温 HR/UR 之间，主打低温均热、洁净无油、中高抽速、中等防腐，核心适配Load Lock（装载腔）快速排气、PVD / 蒸镀前级、轻度腐蚀 CVD，是半导体 / FPD / 锂电的主流通用干泵。

核心特点（低温 + 均衡性能）

1. 低温均热化技术（区别 HR/UR）
   • 泵体低温区（≤80℃）均匀控温，利用压缩热减少冷凝，防粉尘 / 水汽粘附，适合高负荷反复抽气。
   • 无油设计：齿轮 / 轴承油腔与腔体完全隔离，100% 洁净排气，适配高洁净车间。
2. 中高抽速 + 稳定极限真空
   • 抽速60–3200 m³/h，极限真空0.67–5 Pa，直排大气无需前级泵，大气压↔真空频繁启停稳定。
3. 中等防腐 + 高可靠性
   • 转子 / 腔体DRP 标准防腐涂层，耐弱酸碱、氟化物、硅尘，适配 PVD / 轻度 CVD；屏蔽电机 + 氦气密封，防泄漏、**防爆。
   • 瞬停耐受 **≤1000ms**，适合电网波动场景；标配RS-01/02 消音器，噪音68–72 dB(A)。
4. 节能 + 智能监控
   • 可选ECO-SHOCK 节能模块，轻载（空气 / 氮气）功耗降70%–80%。
   • 标配通信接口，支持运行状态 / 报警 / 历史数据远程监控，适配自动化产线。

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三、核心型号与参数

型号	抽速 (m³/h,50/60Hz)	极限真空 (Pa)	电机功率 (kW)	重量 (kg)	吸 / 排口径
LR60	62/80	≤5.0	2.2	180	VG50(KF50)/KF40
LR90	112/126	≤5.0	3.7	245	VG50(KF50)/KF40
LR180	183/237	≤1.0	7.5	335	VG80(KF50)/VG50
LR421	440/440	≤1.0	15	415	VG100/VG50
LR1200	1100/1200	≤0.67	37	850	ISO125/ISO80
LR1800	1701/1784	≤0.67	55	1100	ISO160/ISO100

• 电源：三相 200V/400V，50/60Hz；冷却：水冷，水量 **≥2–5 L/min**（随型号递增）。

四、LR vs 爱发科内部系列（GR/HR/UR）

系列	温度等级	抽速 (m³/h)	极限真空 (Pa)	防腐等级	核心场景
GR	常温（经济型）	60–240	1.0–5.0	标准（洁净 / 弱腐）	Load Lock、真空干燥、置换
LR	低温（标准型）	60–3200	0.67–5.0	中（轻度腐蚀）	PVD、Load Lock、轻度 CVD
HR	高温（120–150℃）	60–600	0.05–5.0	高（刻蚀 / 灰化）	主流 CVD、刻蚀、灰化
UR	超高温（150–200℃）	400–4500	0.005–0.05	极高（ALD / 重沉积）	ALD、高沉积 CVD、重粉尘刻蚀

五、行业应用细分（半导体 / FPD 为主，锂电 / 光伏为辅）

1. 半导体（主力场景）

• Load Lock 腔：LR90/LR180，晶圆快速进出，反复抽气耐疲劳，适配 12 寸产线。
• PVD / 溅射 / 蒸镀：LR180/LR421，前级泵，洁净无油、耐金属粉尘。
• 轻度 CVD（非强腐蚀）：LR421，耐弱氟 / 氯，防沉积物堵塞。
• 分子泵前级：LR60/LR90，高真**级，稳定抽气。

2. FPD（面板）

• OLED/LCD Load Lock：LR180/LR421，基板快速排气，高通量。
• ITO 镀膜 / PVD：LR421，洁净排气、耐玻璃粉尘。

3. 锂电 / 光伏

• 光伏硅片清洗 / 干燥：LR180，洁净排气、耐水汽。
• 锂电极片脱泡 / 干燥：LR180/LR421，轻度腐蚀、无油污染。

4. 一般工业

• 真空干燥 / 脱泡：LR60/LR90，化工、医药、食品。
• 真空气体置换：LR90，惰性气体填充、热隔绝。