一、工作原理

• 转子：一对 8 字形转子同步反向旋转，无接触、无磨损。
• 抽气：多级转子逐级压缩气体，无需前级泵，直抽范围 101325Pa～0.08Pa。
• 洁净：泵腔无油，零油污染、零返流。

二、核心型号与参数

• 电源：单相 100～115V/200～240V；三相 200～240V。
• 接口：KF-25/KF-25；尺寸约 180×588×377mm（281HA）。

三、关键特点

1. 无油洁净：无油设计，杜绝油雾 / 返流，适配半导体、镀膜、分析仪器等高洁净场景。
2. 宽域运行：大气压直抽，一泵覆盖粗～高真空，无需前级泵，简化系统。
3. 耐水汽强：*大吸水汽量 300g/h，适配潮湿工艺（如冻干、镀膜）。
4. 免冷却水：空冷设计，安装灵活、运维简单。
5. 长寿命低维护：无滑动摩擦件，寿命长，仅需定期检查进气过滤。
6. 紧凑高效：小体积大抽速，易集成到设备内部。

四、典型应用

• 半导体 / 面板：PVD 镀膜、蚀刻、沉积设备前级泵。
• 分析仪器：质谱、氦检漏仪、电子显微镜真空源。
• 镀膜 / 光学：真空镀膜、溅射、蒸镀的洁净抽气。
• 通用工业：气体回收、真空包装、涡轮分子泵前级。