一、核心特点（滚珠轴承型）

• 轴承系统：高精度陶瓷滚珠轴承，寿命＞30,000 小时，维护成本低。
• 复合转子：抗冲击设计，耐受突发气流 / 真空破坏，可靠性高。
• 低振动：振动≤0.2μm，适配超高真空（UHV）与精密测量场景。
• 安装灵活：可任意角度安装，适配移动真空车、集成设备。
• 冷却可选：风冷（风扇）或水冷，适配不同散热需求。
• 法兰规格：ISO‑K/ISO‑F/CF（Conflat）多种接口，兼容性强。

二、主要型号与关键参数

三、典型应用

• 半导体 / 光伏：镀膜、刻蚀、离子注入配套高真空系统。
• 分析仪器：SEM、XPS、RGA、质谱仪等超高真空环境。
• 科研 / 研发：UHV 系统、真空腔体、移动真空车。
• 光学 / 薄膜：玻璃镀膜、LED/OLED 制程。

四、与 EMT 系列区别

• EBT（滚珠轴承）：机械陶瓷轴承，性价比高，维护简单，适合常规高真空与移动场景。
• EMT（磁悬浮）：5 轴磁悬浮，无接触、无磨损、超低振动，适合半导体严苛制程与 UHV 长期运行。

五、选型要点

1. 抽速匹配：按腔体体积、抽气时间与前级泵配置选择型号。
2. 真空度需求：EBT 可实现10⁻⁸ Pa级 UHV，满足多数高精尖场景。
3. 冷却方式：紧凑型 / 移动设备选风冷；高负载 / 连续运行选水冷。
4. 法兰接口：ISO‑K 用于常规真空，CF 用于超高真空密封