核心型号与参数

1. 型号体系

• EV‑S20：标准型（洁净 / 轻腐蚀）
• EV‑S20P：+N₂吹扫（中腐蚀 / 易结垢）
• EV‑S20N：+ 镍合金流路 + N₂吹扫（强腐蚀如 HF/Cl₂）
• EV‑SA20：风冷版（无需水冷，安装极简）

2. 关键规格（EV‑S20）

• 抽速：1,670 L/min（50/60Hz 通用）
• 极限真空：3 Pa（气镇关）/5 Pa（气镇开）
• 电源：1φ/3φ 200–240V，50/60Hz
• 功耗：≈0.75 kW（极限真空）
• 尺寸（宽 × 深 × 高）：230×450×275 mm
• 重量：60 kg
• 冷却：水冷 1.5–3.0 L/min；EV‑SA20 为风冷
• 接口：进气 KF40，排气 NW25
• 噪音：≈56 dB(A)

三、核心特点

• 超节能：比同级干泵省电 **≈30%；带怠速 / 休眠 **，低负载功耗更低。
• **紧凑：占地仅约0.1 m²，重量 60 kg，适合 Subfab / 设备内置。
• 洁净无油：无接触罗茨转子，完全无油，无磨损、免维护。
• 高水汽耐受：风冷版（EV‑SA20）水蒸气抽除能力强，适配含水汽轻制程。
• 耐腐蚀可选：标准铸铝；P/N版配 N₂吹扫 / 镍合金，应对轻至强腐蚀。
• 智能控制：LCD 控制器，预警 / 报警存储，可编程阈值。
• **合规：SEMI‑S2、CE、NRTL，全球工厂通用。