二、核心型号与参数

1. 型号体系与定位

• 小流量（研发 / 中试）：EV‑M20N、EV‑M102N
• 中流量（量产主流）：EV‑M202N、EV‑M302N、EV‑M502N、EV‑M802N
• 大流量（**量产）：EV‑M1202N、EV‑M1205SF（空冷加强型）

2. 关键规格

三、核心特点

• 高负载耐腐：标准镍合金流路，耐受 HF、Cl₂等腐蚀气体；高温制程稳定，抗副产物粉尘能力强。
• 超节能：智能转速控制 + 怠速 / 休眠，比同级干泵省电 **≈40%**；轻负载功耗低。
• 高洁净无油：多级罗茨转子无接触、完全无油，无磨损、免维护，符合 SEMI‑S2、CE、NRTL。
• 宽频适配：50/60Hz 通用，全球电压兼容（200–440V）。
• 智能控制：LCD 控制器，预警 / 报警存储，可编程阈值，支持远程监控。

五、典型应用

• 半导体：ALD、LPCVD、MOCVD、刻蚀、PECVD、PVD
• 面板 / 光伏：薄膜沉积、清洗、真空传输
• 科研 / 工业：高真空镀膜、精密退火、特种气体输送

六、与 EV‑X/EV‑S 对比（选型参考）

七、选购建议

1. 研发 / 小腔室 / 预算紧：选EV‑M20N。
2. 半导体量产 / 中高腐蚀：选EV‑M202N/EV‑M302N。
3. 高负载 / 大流量 / 氢气制程：选EV‑M502N/EV‑M802N。
4. 空冷需求 / 无水源：选EV‑M1205SF。