核心型号与参数

1. 型号体系

• 轻气体型（MO‑CVD / 氢气）：ESA15‑D、ESA25‑D、ESA25XW、ESA70W(‑D)、ESA80W‑HDF、ESA100W
• 大流量型（大腔室 / 面板）：ESA200W、ESA300W、ESA500W、ESA700W

2. 关键规格

三、核心特点

• 氢气 / 轻气体*优：专用转子型线，氢气抽气效率同级*高，MO‑CVD/EPI 标配。
• 大腔室快速粗抽：大直径转子 + 高集成设计，抽速*高 80,000 L/min，适配大型 Load Lock/LCD 溅射。
• 紧凑水冷 + 智能节能：水冷散热稳定；智能转速控制，轻负载省电≈35%；50/60Hz 通用。
• 洁净耐腐：无油无接触，NiResist 耐蚀铸，标配 N₂吹扫，耐受微量腐蚀；符合 SEMI‑S2/CE/NRTL。
• 低噪易集成：振动小、噪音低；LCD 控制器，预警 / 报警存储，支持远程监控。

五、典型应用

• 半导体：MO‑CVD、EPI、氢气制程、Load Lock
• 面板 / 光伏：LCD 溅射、薄膜沉积、大型真空腔室
• 科研 / 工业：高真空镀膜、真空干燥、轻气体输送

六、与 EV‑M/EST 对比

七、选购建议

1. MO‑CVD / 氢气制程：优先选ESA25‑D/ESA70W‑D。
2. 大型 Load Lock/LCD：选ESA100W/ESA200W。
3. 强腐蚀 / 高粉尘：升级EST 系列。
4. 预算紧 + 轻负载：选ESA15‑D。