核心型号与参数

1. 型号体系（3 款）

• EV‑SA20：小流量（研发 / 分析仪器）
• EV‑SA30：中流量（主流 / 小型腔室）
• EV‑SA50：大流量（轻负载量产 / Load Lock）

三、核心特点

• 风冷免装水（*大优势）：无需冷却水，插电即用，安装零门槛，适合无水源 / 洁净室 / 实验室。
• 超小超轻：EV‑SA20 仅65kg、占地0.2㎡，可放桌面 / 机架，空间节省50%+。
• 超低能耗：极限真空功耗低至0.45kW，比同级别干泵省电 **≈40%**；支持休眠 / 怠速模式。
• 免维护终身无油：无接触转子、无油、无密封件消耗，终身无需保养，运维成本为 0。
• 高水汽耐受：风冷干泵中水蒸气抽除能力**，适合含水汽制程（如冻干、清洗）。
• 洁净合规：无油污染，符合SEMI‑S2、CE、NRTL；低噪 **<56dB (A)**、低振动。

五、典型应用

• 半导体：Load Lock 预抽、计量 / 检测设备、光刻 / 量测
• 科研 / 分析：SEM、质谱、X 射线、真空镀膜、实验室真空系统
• 工业：真空干燥、冻干、包装、小型 PVD、轻负载清洁制程

六、与 ESA/EV‑M 对比（选型参考）

七、选购建议

1. 实验室 / 无水源场景：优先选EV‑SA20/EV‑SA30（风冷免装水）。
2. Load Lock 预抽 / 轻负载量产：选EV‑SA50。
3. 氢气制程 / MO‑CVD：升级ESA 系列。
4. 强腐蚀 / 高粉尘：升级EV‑M/EST 系列。