一、系列定位与型号划分

• SDX 型：节能基础款，适配常规热处理与洁净工艺，功耗低。
• SDT 型：高耐久工艺款，强化耐腐蚀与耐高温，适配严苛制程。
• SDH 型：超级高耐久款，面向超高温、强腐蚀极端工艺。

二、核心参数总览（全系列）

• 电源：三相 AC200~240V/50/60Hz。
• 氮气吹扫：0~120 SLM（可选）。

三、核心技术特点

1. 无油干式螺杆：全程无润滑油，零油污染，适配半导体晶圆、真空镀膜等高洁净工艺。
2. 高极限真空：*低可达 0.3 Pa，满足高真空制程需求。
3. 小型化与节能：同级别中占地面积小（较前代缩小约 35%），功耗低，运行成本低。
4. 高耐久设计：
   • 特殊耐腐蚀合金与表面处理，适配酸碱、腐蚀性气体。
   • 内置加热系统，防止水汽凝结，适合高温高湿工况。
5. 易安装维护：
   • 底部带万向脚轮，移动灵活，部署方便。
   • 模块化设计，维护间隔长，维护成本低。
6. 国际**认证：符合 SEMI、CE、NRTL 等标准，可用于全球**产线。

四、典型应用场景

• 半导体制造：刻蚀、沉积、离子注入、晶圆清洗等高洁净真空环境。
• 真空热处理：淬火、回火、退火、钎焊等高温真空炉排气。
• 化工与制药：蒸馏、干燥、结晶、反应釜真空，溶剂回收。
• 电子与光学：真空镀膜、溅射、封装、液晶注入等。

五、选型建议

• 常规洁净工艺、注重节能 → 选 SDX 系列。
• 腐蚀性 / 高温制程、要求高稳定性 → 选 SDT 系列。
• 极端工况（超高温、强腐蚀、连续运行）→ 选 SDH 系列。