FCS‑T1000M 系列（数字金属密封，标准型）

核心特点

• 类型：热式质量流量控制器（MFC）
• 信号：模拟 0–5 VDC + 数字 RS‑485/DeviceNet
• 密封：金属密封（SUS316L），高纯 / 耐腐蚀
• 精度：±1% F.S.（满量程）；±0.25% F.S.（2–25% 量程）
• 响应：≤1 秒（全流量范围）
• 洁净度：1 级禁油（半导体级）
• 压力：*高 0.4 MPa（4 bar）；耐压 1 MPa
• 温度：5–50 °C
• 材质：接液部 SUS316L，金属密封
• 常见型号与量程（N₂ 校准）

核心特点（M 系列基础上增强）

• MGMR 功能：多气体、多量程，一台覆盖多种气体 / 量程
• 传感器：哈氏合金（Hastelloy），强耐腐蚀（Cl₂、HCl 等）
• 精度：±1% S.P.（设定点，全量程）
• 通讯：同 M 系列（RS‑485/DeviceNet）
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典型型号（多量程示例）

• FCST1030ZFC：10/30/100 SCCM 三量程，N₂/Ar/O₂ 通用
• FCST1100ZFC：1/3/10 SLM 三量程，半导体特种气体

三、型号命名规则（示例）

• FCS：流量控制系统
• T：热式
• 1005：系列 / 流量规格
• M：金属密封（M 系列）；Z：多气体多量程（Z 系列）
• E：数字通讯（RS‑485）
• C：标准模拟（0–5 V）
• 4J2：1/4" VCR 金属接口
• F5L：满量程 5 SLM
• N₂：校准气体（氮气）

四、M/Z 系列与 L 系列核心差异

• ✅ T1000Z：多气体切换、特种气体（SiH₄、BCl₃、Cl₂）、减少库存
• ❌ 不推荐：低压（＜50 kPa）、高温（＞50 °C）、高压（＞0.4 MPa）