一、核心定位与原理

• 类型：压力式流量控制系统（FCS®），非热式 MFC
• 原理：上游压力 + 固定节流孔 + 下游压力控制，不受入口压力波动影响
• 核心优势：响应≤0.5 秒、无热漂移、安装姿态无影响、气体适应性强
• 主要用途：半导体蚀刻 / 沉积、高纯气体（N₂/Ar/O₂）、特气（Cl₂/HCl/SiH₄）、低压 / 高压工况

二、主要型号与量程（N₂ 校准）

1. 标准型（P7000D）

• FCSP7102D：20 SCCM～1 SLM
• FCSP7302D：1～5 SLM
• FCSP7502D：5～10 SLM

2. 低压型（P7000AS/B）

• AS 型（超低压）：27 SCCM～1 SLM（入口 20 kPaG 起）
• B 型（低压）：39 SCCM～2 SLM（入口 50 kPaG 起）

3. 型号命名示例

• FCS：流量控制系统
• P：压力控制型
• 7102：系列 / 流量规格（71 = 小流量，73 = 中流量，75 = 大流量）
• D：标准型；AS/B：低压型
• 4WS1：1/4" VCR 金属密封
• F2L：满量程 2 SLM
• A3：通讯 / 输出
• NFN：接液材质 / 密封

三、关键技术规格

• 流量精度：±1.0% S.P.（设定点，全量程）
• 重复性：±0.1% S.P.
• 响应时间：≤0.5 秒（全流量）
• 入口压力：标准 250～900 kPaG；低压 20/50～900 kPaG
• 接液材质：SUS316L（标准）、哈氏合金（特气）
• 密封：金属密封（VCR），1 级禁油
• 通讯：模拟 0–5 V + RS‑485/DeviceNet
• 电源：11–25 VDC，4.5 W

四、与 T1000 系列（热式 MFC）