一、核心定位与原理

• 类型：压力式流量控制系统（FCS®），非热式 MFC
• 原理：双节流孔（大小流量各一）+ 上下游压力闭环控制，不受入口压力波动影响
• 核心升级（对比 P7000）：单台覆盖双量程、流量下限更低（10 SCCM）、自诊断更全、抗压力波动更强
• 用途：半导体蚀刻 / 沉积、高纯气体（N₂/Ar/O₂）、特气（Cl₂/HCl/SiH₄）、超小流量 / 高压 / 低压工况

二、主要型号与量程（N₂ 校准）

1. 标准型（P8000D）

• FCSP8101D：10 SCCM～0.5 SLM
• FCSP8102D：20 SCCM～1 SLM
• FCSP8202D：50 SCCM～2 SLM
• FCSP8302D：100 SCCM～5 SLM

2. 低压型（P8000AS/B）

• AS 型（超低压）：10 SCCM～1 SLM（入口 20 kPaG 起）
• B 型（低压）：20 SCCM～2 SLM（入口 50 kPaG 起）

3. 型号命名示例

• FCS：流量控制系统
• P：压力控制型
• 8202：系列 / 流量规格（81 = 小流量，82 = 中流量，83 = 大流量）
• D：标准型；AS/B：低压型
• 4WS1：1/4" VCR 金属密封
• F2L：满量程 2 SLM
• A3：通讯 / 输出
• NFN：接液材质 / 密封

三、关键技术规格

• 流量精度：±1.0% S.P.（设定点，全量程）
• 重复性：±0.1% S.P.
• 响应时间：≤0.5 秒（全流量）
• 入口压力：标准 250～900 kPaG；低压 20/50～900 kPaG
• 接液材质：SUS316L（标准）、哈氏合金（特气）
• 密封：金属密封（VCR），1 级禁油
• 通讯：模拟 0–5 V + RS‑485/DeviceNet
• 电源：11–25 VDC，4.5 W
• 特色功能：流量自诊断、双量程自动切换、安装姿态无影响

四、与 P7000/T1000 系列核心差异