一、核心材质与特性

• 膜材质：PTFE 中空纤维（全氟材质）
• 接液部：全氟树脂，无金属析出、无离子污染
• 功能：真空脱气（除 O₂/CO₂）+ 供气（溶解 N₂）两用
• 耐化学：耐酸碱、醇类、酮类、光刻胶、剥离液、显影液
• 不可用于纯水长期使用（纯水优先 EF 系列）

二、两大子系列区别

1. PF‑D 紧凑型（小流量，机台内置）

• PF‑004D：流量 1–100 mL/min，*小款，光刻胶、单点药液
• PF‑010D：10–200 mL/min，中流量药液、CMP 支路
• 外壳：多为不锈钢 / 氟塑，体积小巧

2. PF‑F（DF 系列，耐溶剂加强版，大流量）

• 外壳：白色全氟塑料，耐溶剂更强
• 流量更大，适合产线主回路、批量制程

三、PF 系列主流型号参数（半导体必用）

四、外观实拍特征

• PF‑D：不锈钢外壳小型圆柱，精密接头
• PF‑F(DF)：白色全氟外壳，尺寸更长
• 均带：液体进出嘴 + 真空抽气口

五、EF / PF‑D / PF‑F 一句话区分

• EF 系列：PP 膜 → 纯水、超纯水
• PF‑D 系列：PTFE 不锈钢 → 普通药液、小流量
• PF‑F (DF) 系列：PTFE 全氟 → 强腐蚀溶剂、大流量**药液