LD‑450/SD（经典主力款，半导体行业*常用）

1. 实物照片

• 整机：LD‑450 白色壁挂主机 + SD 真空法兰传感器

2. 详细参数

• 测量原理：氧化锆浓差电池，高温氧离子检测，响应＜1 秒
• 量程：0.1ppm~100% O₂，氧分压 10⁻²⁰~1atm，自动量程切换
• 精度：重复性 ±0.5% FS（≥1% 量程）；±1% FS 或 ±0.1ppm（＜1% 量程）
• 输出：
  • LD‑450‑T：4‑20mA 模拟量、2 点报警继电器
  • LD‑450‑C：RS‑232C 数字通讯
• 供电：AC100‑240V 宽电压
• 尺寸：主机 185×155×40mm（超薄壁挂）；重量：主机 1.2kg，传感器 0.5kg
• 配套 SD 换能器：SD16NW / SD25NW / SD40NW（NW 真空法兰）、SD‑R3/8（螺纹常压）

3. 核心优势

• 真空直测，无需采样泵，适配高真空腔体
• 分体安装，主机远离高温、粉尘、干扰区域
• 长寿命、抗污染涂层，适合半导体 24h 连续运行
• 4 位数字显示，可设置 HH/H/L/LL 多级报警

4. 应用场景

二、LD‑600/SD（新一代 EtherCAT 工业总线款，自动化产线专用）

1. 实物照片

• 整机：LD‑600 黑色工业主机 + SD 系列传感器

  2. 详细参数

  • 原理：同 LD‑450，氧化锆传感器，ppb 级超低氧检测能力
  • 量程：0.001ppm~100% O₂，覆盖超高纯气体
  • 通讯：标配EtherCAT 高速工业以太网，可直接接入半导体自动化产线 PLC
  • 输出：4‑20mA、RS485、EtherCAT 多协议
  • 稳定性：超低漂移，24h 漂移＜±1% FS
  • 适配 SD 传感器：SD16NW、SD25NW、SD40NW‑2（ppb 专用）

  3. 核心优势

  • EtherCAT 实时通讯，满足工业 4.0 高速数据交互
  • 抗干扰能力更强，适合多腔体、多工位自动化产线
  • 支持多传感器扩展，适配大型半导体工厂
  • 兼容现有 LD‑450 全部 SD 传感器，可直接替换升级

  4. 应用场景

  先进制程晶圆设备、自动化真空镀膜线、功率半导体、锂电**制程

  三、SD 系列换能器（传感器 / 探头，所有 LD 主机通用）全型号

  真空法兰型（半导体主力）

  1. SD16NW：NW16 法兰，小型腔体、细管道
  2. SD25NW：NW25 法兰，通用真空设备（*常用）
  3. SD40NW / SD40NW‑2：NW40 法兰，ppb 级微量氧专用，**半导体

  螺纹常压型

  1. SD‑R3/8：R3/8 螺纹，氮气炉、常压气体管道

  SD 传感器实拍

  四、LD‑450 与 LD‑600 选型对比

  1. LD‑450/SD：性价比经典款，4‑20mA/RS232，适合单机、实验室、普通真空设备
  2. LD‑600/SD：**自动化款，EtherCAT 总线，适合整条产线、多腔体联网监控