一、核心型号：MS‑500（主力）、MS‑510（小型精简版）

1. MS‑500 多点式氧分析仪（8 通道旗舰款）

结构

• 主机：壁挂式 / 机架式控制器
• 可同时接入 *多 8 个 SD 系列换能器（SD16NW/SD25NW/SD40NW‑2）
• 每个通道独立测量、独立显示、独立报警

测量原理

氧化锆浓差电池，和 LD‑450/LD‑600 传感器完全通用，SD 探头可直接互换

量程

0.1 ppm ~ 100% O₂，支持 ppb 级（SD40NW‑2）超高纯微量氧测量

输出与通讯

• 每个通道独立 4‑20mA
• RS‑485 / EtherCAT 可选
• 集中报警、数据记录、远程监控
• 可对接工厂 PLC、MES 系统

供电与安装

• AC100‑240V 宽电压
• 壁挂安装或标准机柜机架式
• 传感器与主机可远距离布线（*长 10m）

适用场景

• 半导体多条 PVD/CVD 腔体、溅射设备集群
• 真空镀膜生产线、多工位手套箱
• 多台热处理炉、氮气炉集中监控
• 功率半导体、封装产线多点氧浓度管控

2. MS‑510 小型多点控制器（4 通道精简款）

• *大支持 4 个 SD 传感器
• 体积更小、成本更低
• 功能同 MS‑500，适合中小型多腔体设备

二、配套换能器（和分体式完全通用）

• SD16NW：NW16，小型腔体
• SD25NW：NW25，通用真空（*常用）
• SD40NW‑2：NW40，ppb 级微量氧
• SD‑R3/8：螺纹常压炉体

三、多点式 对比 分体式 / 一体式（选型逻辑）

1. 单点监测 → LD‑450 / LD‑600（分体）或 LC‑450（一体）
2. 2–8 个点位集中监控 → MS‑500 / MS‑510（多点式）
3. 优势：
   • 只用 1 台主机，大幅降低成本
   • 集中显示、集中报警、统一管理
   • 传感器通用，后期维护简单。