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OMRON欧姆龙 ZJ‑ SD100静电消除器
产品型号:ZJ‑SD100
产品简介:

欧姆龙 OMRON ZJ‑SD 系列 静电消除器(半导体主力款) 一、产品定位 ZJ‑SD 是欧姆龙新一代紧凑型高频 AC 离子风棒 / 静电消除器,半导体行业用来消除晶圆、芯片、FOUP、载具、光学元件表面静电,防止吸附粉尘、击穿芯片、崩边划伤,洁净室、真空周边、封装、探针台大量使用。 体积小、可嵌入设备内部,和基恩士、东方马达配套使用,是半导体设备标配静电解决方案。

详细介绍

二、核心型号(半导体*常用)

1. 离子棒(放电本体)

  • ZJ‑SD100:有效除电长度 100mm(微型工位、Z 轴、固晶机)
  • ZJ‑SD200:200mm(晶圆局部、芯片封装)
  • ZJ‑SD300:300mm(FOUP、载具、晶圆盒)
  • ZJ‑SD500:500mm(长距离搬送线)

2. 控制器(供电 + 调节)

  • ZJ‑SDC:标准控制器,单通道
  • ZJ‑SDC2:双通道,可带 2 根离子棒

三、核心优势(半导体专用亮点)

  1. 高频 AC 方式,正负离子平衡极好,不产生残余电荷,不伤晶圆、芯片
  2. 高速除电:1 秒内消除静电,适配高速搬送
  3. 防尘结构,可在无尘室 Class1000 环境使用
  4. 低臭氧、无火花,适合易燃易爆 / 精密电子环境
  5. 超小体积,可装在真空腔体外侧、狭小设备内部
  6. 支持静电监控输出,可对接 PLC 报警

四、半导体运用场景

  1. 晶圆表面除静电,防止吸附粉尘、微粒
  2. 芯片、BGA、封装件静电消除,避免静电击穿
  3. FOUP 晶圆盒、载具、托盘静电去除
  4. 固晶机、键合机、探针台工位除静电
  5. 视觉检测前除静电,避免灰尘影响成像
  6. 洁净室物料搬送静电管控