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SIMCO思美高 半导体主力Ionforce系列离子风棒
产品型号:IONforce‑800
产品简介:

SIMCO‑ION IONforce 系列离子风棒(半导体专用) IONforce 是美国 SIMCO 思美高超薄型直流 / 脉冲直流离子棒,专为晶圆 FAB、**封测、探针台、光学检测、Class1‑Class100 超洁净室设计,是外资半导体厂主流标配,对标春日 KDB‑SI,洁净等级更高、离子平衡更稳、低粒子污染。

详细介绍

1. IONforce 标准版(通用洁净型,半导体封测主 流)

超薄扁形棒体,尺寸 25×29mm,铝合金外壳,钨合金放电针,纤细低矮,适配机台狭小空间


  • IONforce‑300、400、500、600、800、1000、1200、1500、2000、2400
  • 发射极:钨合金针,通用洁净室
  • 无吹气 / 可选吹气(后缀‑A)



2. IONforce‑J 超洁净版(晶圆 Fab/ISO Class1 专用)

不锈钢棒身,钛 / 单晶硅发射针,全密封防尘设计,无重金属析出,光刻、探针台**

  • IONforce‑J‑300~2400
  • 发射极:单晶硅 / 钛针,超低粒子、无重金属污染,ISO Class1 适用
  • 密封性更强,耐 IPA 擦拭


  • 3. IONforce‑A 吹气辅助版

    侧边带 CDA 洁净空气接口,除静电 + 除尘,适配晶圆盒、FOUP 载具清洁
  • ONforce‑A‑400、500、600、800、1000
  • 接 CDA 洁净干燥空气 / 氮气,延长维护周期
  • 4. 配套控制器(2 款)


    • PFC 控制器:基础款,直流 / 脉冲模式切换
    • visIONi 智能控制器:故障报警、针污染提醒、PLC/MES 信号输出,** Fab 标配

      通用核心技术参数(全系列一致)

      • 放电模式:稳态 DC 直流 / Pulse 脉冲直流 可切换
      • 供电控制器:PFC 控制器 /visIONi 智能控制器
        • PFC:基础脉冲 / 直流切换
        • visIONi:故障报警、针污染提醒、远程开关、PLC 信号输出
      • 离子平衡:<±30V(常规);<±10V(脉冲模式)
      • 除电速度:10kV→100V,<10s@600mm;吹气版<5s
      • 工作距离:50–1000mm,半导体推荐 100–300mm
      • 臭氧含量:<0.05ppm,极低不污染晶圆
      • 棒体尺寸:超薄 25×29mm,低矮空间可装
      • 洁净等级:ISO 14644‑1 Class1‑4
      • 工作温度:0–55℃
      • 气源(A 版):CDA / 氮气,0.1–0.4MPa

      三、发射极 2 种选择(半导体选型关键)

      1. 钨针(Tungsten):耐用、性价比高 → 封测、后段制程
      2. 单晶硅针(Silicon):零重金属析出、超低微粒 → 晶圆前道、光刻、超洁净区

      四、配套电源 / 控制器

      1. PFC 控制器:AC90‑240V,基础供电,可切换直流 / 脉冲
      2. visIONi 智能控制器:带监控报警,对接 MES/PLC,** Fab 标配
      3. 一拖多:单台控制器可带多根 IONforce 棒

      五、半导体专用耗材清单(直接报价)

      1. 发射针:钨针、单晶硅针、钛针(易损件)
      2. 高压线缆、绝缘套管、O 型圈
      3. 吹气气嘴、吹扫配件
      4. 陶瓷绝缘件、接地组件