核心定位

• 类型：AC 交流脉冲 / DC 脉冲 吹气式离子棒
• 功能：除静电 + 吹扫除尘 二合一
• 气源：CDA 洁净干燥空气 / 氮气（N₂）
• 适用：晶圆 FOUP 清洗、载板、光学零件、划片设备、探针台、狭小腔体

二、全系列型号

1. AirForce Standard 标准吹气款（*常用）

2. AirForce IQ 智能监测款（带 PLC 报警）

3. AirForce UltraClean 超洁净款（晶圆 Fab）

三、关键技术参数

• 放电方式：AC 脉冲（标准）/ DC 脉冲（超洁净）
• 离子平衡：±20V（IQ 版可做到 ±10V）
• 除电速度：10kV→100V ＜1s@150mm（吹气加持更快）
• 气源压力：0.1–0.4 MPa
• 棒体材质：阳极氧化铝 / 不锈钢（UC 款）
• 发射针：钨合金针；UC 款可选单晶硅针
• 臭氧：低，无尘室合规
• 工作距离：100–300mm

四、结构特点

1. 侧面 / 底部均匀出气孔，气体沿棒长均匀吹出
2. 气流包裹离子，远距离除静电，同时吹走粉尘颗粒
3. 减少放电针积灰，维护周期大幅延长
4. IQ 版带智能监测，可远程监控状态

五、配套电源

• AirForce 电源控制器
• 可与 Aerostat IQ / IONforce 共用部分控制器

六、半导体专用耗材

• 钨放电针、单晶硅针（UC 款）
• 高压线缆、绝缘件、O 型圈
• 气嘴、进气接头、过滤滤芯