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SUNJE 软 X 射线半导体静电消除
产品型号：SXH‑05T
产品简介：

SUNJE 软 X 射线（Soft X‑Ray）系列是半导体高洁净制程的无臭氧、无颗粒、零维护静电消除方案，主打 ±0V 离子平衡与豁免辐射**，分为 SXN（标准头）、SXH（微型 / 高温头）、SXB（长棒模块化） 三大产品线。
详细介绍
  • 电离原理：软 X 射线（4.9kV / 11kV / 14.9kV）光电离，无电晕、无臭氧、无粉尘、无需 CDA。
  • 离子平衡：±0V（长期稳定），不反向充电，保护光罩 / 超薄晶圆。
  • **合规：辐射豁免（＜5kV 免监管），CE/RoHS，可用于真空 / N₂ 环境。
  • 维护：无电极、免清洁；灯管寿命约 7,500–20,000 小时，到期报警提示更换。
  • 光束角：150° 广角，覆盖面积大。

    SXH 系列（微型 / 耐高温，φ20mm 小头）

    代表型号：SXH‑05T / SXH‑15N (450)

  • 形态：超小直径（φ20mm）圆柱头，长度 150–450mm。
  • SXH‑05T（微型）
    • 4.9kV，仅 φ20mm × 150mm，狭小空间专用。
    • 应用：晶圆切割 / 研磨、探针台卡盘、微型模组。
  • SXH‑15N (450)（长型）
    • 14.9kV，长度 450mm，长距离线性除电。
    • 功耗：≤15W；温度：0–50℃。

    • 参数速览（对比）

    系列 典型型号 管电压 尺寸 / 长度 重量 核心用途
    SXN SXN‑10T 4.9kV 60×60×120mm 290g 标准洁净室、小型设备
    SXH SXH‑05T 4.9kV φ20×150mm 100g 微型空间、探针台
    SXB SXB‑05NR 4.9kV 300–2700mm（模块化） 0.5kg / 节 大面积、腔体内、湿法

    半导体推荐场景

    • 超敏感制程：光刻（光罩）、超薄晶圆、真空环境 → SXN‑15U / SXB‑05NR。
    • 狭小 / 微型空间：探针台、切割 / 研磨、设备内部 → SXH‑05T / SXN‑10F。
    • 大面积 / 宽幅：基板传送、腔体内壁、AMHS → SXB 长棒（多节）。
    • 湿法制程：清洗 / 去胶 → SXB‑10W（防水）。