一、型号与口径（常用）

型号命名（简化）

• 驱动：A= 气动（标准）；E= 电动（可选）
• 口径：KF50/KF80/KF100、CF63/CF80/CF100、80A/100A/150A（JIS）
• 法兰：KF/CF/JIS/ISO
• 密封：FKM（标准）/ 全金属（UHV）

常见型号

• G‑J350A‑KF50（通用小口径）
• G‑J350A‑CF80（高真空隔离）
• G‑J350A‑100A‑JIS（大流量泵组）

二、核心参数（半导体级）

1）真空与泄漏

• 压力范围：大气压 ～ 10⁻⁵ Pa（高真空）
• 内漏率（阀座）：≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s（He 检漏）
• 外漏率（轴封）：≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s（波纹管密封）

2）材质与表面

• 阀体 / 蝶板：SUS304（标准）/ SUS316L（高纯）
• 表面：电解抛光 EP Ra≤0.8μm（低放气、洁净）
• 密封：FKM（‑20～120℃）；全金属密封（≤200℃ 烘烤）
• 轴封：金属波纹管（无摩擦、低颗粒）

3）驱动与控制（气动为主）

• 驱动：气动（0.4–0.6MPa），气缸推力倍增 + 末端空气缓冲
• 开度：0～90° 全开 / 全关；部分型号支持0–45° 任意开度调节
• 控制信号：干接点（开 / 关）；可选0–10V/4–20mA（电动版）
• 响应时间：≤1.5s（全开→全关）
• 安装：任意方向 / 角度，无安装限制

4）温度与烘烤

• 阀体：‑20℃～+150℃（FKM）；≤200℃（全金属）
• 气缸：≤60℃（高温环境需风冷）

5）流导与尺寸（典型）

• KF50：流导 ≈ 130 L/s（N₂），面间 ≤40mm（超薄）
• CF80：流导 ≈ 350 L/s（N₂），面间 ≤55mm
• 特点：比同口径普通蝶阀短 30–40%，节省空间

三、结构特点（半导体核心优势）

• ✅ 超薄面间 + 高流导：大口径下抽速损失*小，适配高流量排气
• ✅ 气动推力倍增 + 缓冲：低压气源即可可靠密封，关闭冲击小、寿命长（≥10 万次）
• ✅ 低颗粒设计：波纹管轴封 + 无金属滑动件，适配刻蚀 / 沉积高洁净制程
• ✅ 高逆压密封性：等间隔钢球压紧阀座，真空 / 大气压双向密封可靠
• ✅ 洁净室组装：全流程无尘无油，符合半导体 Fab 洁净标准

四、运用场景（半导体为主）

1）PVD（溅射 / 蒸镀）— *常用

• 型号：G‑J350A‑CF80 + MS‑VP（开度控制）
• 作用：主真空腔与分子泵隔离，高真空（10⁻⁴～10⁻⁶ Pa）下低放气、稳定抽速
• 优势：大流量、低颗粒、超薄设计适配紧凑腔室

2）CVD（LPCVD/PECVD）— 前级 / 泵组

• 型号：G‑J350A‑100A‑JIS
• 作用：反应腔与罗茨泵 / 干泵隔离，大流量工艺气体（N₂/H₂）输送，粗调前级压力
• 优势：高流导、耐粉尘、维护周期长

3）刻蚀（RIE/ICP）— 辅助隔离

• 型号：G‑J350A‑KF50
• 作用：副腔 / 气体管路隔离，不用于主腔精密压力控制（主腔用 GAR‑J300）
• 优势：低成本、高可靠、快速通断

4）真空镀膜 / 光学涂层 — 大腔室

• 型号：G‑J350A‑CF100
• 作用：大尺寸镀膜腔与主泵隔离，高抽速、低压力波动
• 优势：超薄面间适配大型腔体狭小空间

5）禁止场景

• ❌ 精密压力闭环控制（±1% 内，选 GAR‑J300）
• ❌ 强腐蚀气体（HF / 浓碱）
• ❌ 超高真空（10⁻⁷ Pa 以下，选全金属密封 + 烘烤版）

五、与 GAR‑J300 核心区别（选型关键）

六、配套控制器

• MS‑VP（标准）：开度控制，0–10V，适配 G‑J350 电动版
• MG‑mini485（简易 PID）：压力闭环，适配气动 + 压力传感器