一、型号与口径

型号构成

• 类型：标准型（无后缀）；B= 高流导；S= 超薄面间
• 口径（DN）：25A～250A（KF/CF/JIS/ISO 全法兰覆盖）
• 法兰：KF(NW)/CF/JIS/ISO
• 密封：FKM（标准）/Kalrez（耐等离子 / 高温）/ 全金属（UHV）

核心型号（常用）

• BAR‑C160‑KF50（中小口径通用）
• BAR‑C160‑CF100（高真空主腔隔离）
• BAR‑C160‑150A‑JIS（大流量泵组 / PECVD）
• BAR‑C160B‑200A‑ISO（超大流量排气）

二、核心参数（半导体大口径精密级）

1）真空与泄漏

• 压力范围：大气压（10⁵ Pa）～10⁻⁵ Pa（高真空）
• 内漏率（阀座）：≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s（He 检漏）
• 外漏率（轴封）：≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s（金属波纹管密封）

2）材质与表面

• 阀体 / 蝶板：SUS304（标准）/SUS316L（高纯 / 耐腐蚀）
• 表面处理：电解抛光 EP Ra≤0.8μm（低放气、洁净室级）
• 密封：FKM（‑20～120℃）；Kalrez（‑20～200℃，耐等离子）；全金属（≤250℃烘烤，UHV）
• 轴封：金属波纹管（无摩擦、零颗粒）

3）驱动与控制（电动直驱，高精度）

• 驱动：无背隙电机直驱（无齿轮），响应≤1s
• 开度：0～90° 连续可调，分辨率 **≤0.1°**
• 控制信号：0–5V/0–10V/4–20mA；RS‑485/RS‑232C（支持远程控制）
• 控制功能：7 组 PID 记忆、双传感器输入、4 英寸触摸屏（配套 MGCS‑11 控制器）
• 断电模式：保持开度（标准）/ 断电全闭（**型可选）

4）温度与烘烤

• 阀体：‑20℃～+150℃（FKM）；≤200℃（Kalrez）；≤250℃（全金属）
• 电机：≤40℃（高温环境需风冷）

5）流导与尺寸（大口径高流导）

三、结构特点（大口径精密核心优势）

• ✅ 大口径 + 高流导 + 超薄面间：比同口径普通蝶阀短 30%，适配紧凑大腔室
• ✅ 电动直驱 + 无背隙：控制精度 ±0.5%，微开（1–5%）无抖动
• ✅ 零颗粒设计：波纹管轴封 + 无金属滑动件，适配刻蚀 / 沉积高洁净制程
• ✅ 低放气 + 高真空适配：EP 表面 + 高纯材质，支持 UHV 预处理
• ✅ 长寿命：≥10 万次开关循环，维护周期长
• ✅ L 型结构：90° 转向安装，节省管路空间，适配多腔室堆叠设备

四、运用场景（半导体大口径专属）

1）PECVD（等离子体增强化学气相沉积）— 核心场景

• 型号：BAR‑C160‑150A‑JIS‑Kalrez
• 作用：大反应腔（100–300L）压力闭环（1–10 Pa），大流量工艺气体（SiH₄/NH₃）输送，耐等离子体
• 优势：高流导、压力稳定、低颗粒，适配大面积基板制程

2）刻蚀（ICP/RIE）— 主腔精密控制

• 型号：BAR‑C160‑CF100
• 作用：刻蚀主腔（50–200L）压力控制（0.1–5 Pa），快速响应、低压力波动
• 优势：电动直驱、微开稳定，保障刻蚀均匀性

3）PVD（溅射 / 蒸镀）— 大型镀膜腔

• 型号：BAR‑C160‑200A‑ISO
• 作用：大尺寸镀膜腔（≥300L）与主泵隔离，高抽速、低放气
• 优势：超薄面间适配大型腔体狭小空间

4）真空镀膜 / 光学涂层 — 工业量产线

• 型号：BAR‑C160‑KF80
• 作用：量产线真空主管路压力调节，大流量排气、稳定真空环境
• 优势：高性价比、可靠耐用，适配 24 小时连续生产

5）禁止场景

• ❌ 小口径（＜25A）精密控制（选 BAR‑J25）
• ❌ 强腐蚀气体（HF / 浓碱）
• ❌ 超高真空（10⁻⁷ Pa 以下，选全金属密封 + 烘烤版）

五、与同系列 / 竞品选型区别

六、配套控制器

• MGCS‑11（标配）：4 英寸触摸屏，7 组 PID 记忆，RS‑485/232C，适配大口径闭环控制
• MS‑VP（简易）：开度控制，低成本开环调节