三、配套中空纤维脱气膜芯（替换耗材型号）

1. PF-001L-NA（适配 1AP/1AC 机型）
2. PF-001L-ND2（适配 2AP/2AC 机型）
3. PF-001L-ND3（适配 3AP/3AC 机型）

四、特殊定制大流量型号

1. eFLOW 5AC/5AP：70～100L/min 超大流量定制款
2. 30A-L1：小型简易 CO₂防静电单元（紧凑型模组）

三、核心产品优势

1. 电阻率稳定性极强：独有分流管路设计，流量波动下出水阻值波动极小，对比国产设备控值精度提升 60%，适配高精度晶圆切割 / 湿法清洗；
2. 故障率低：无精密泵阀、无动态密封结构，模块化构造，运维简单；
3. 低水压损耗：DIC 中空纤维膜低压渗透，管路压降小，不用额外增压泵，节省纯水站改造成本；
4. 多功能拓展：除 CO₂调质防静电，更换模组可实现纯水脱氧、制备弱酸性功能清洗水、锅炉给水除氧。

四、主流应用场景（半导体 / 光电为主）

1. 半导体晶圆：硅片 DICING 切割清洗、湿法槽洗、SC 清洗、Wafer 高压喷淋；
2. 面板 / 光学：LCD/OLED 基板清洗、掩模版 / 光罩清洗，防止静电击穿像素线路；
3. 精密电子：PCB 超细线路清洗、元器件超纯水漂洗；
4. 其他：光伏硅片清洗、精密五金超纯水防静电喷淋、超声波清洗线调质用水。

五、拓展补充

eFLOW 隶属于 DIC SEPARAL 膜系产品线，同系列还有 EF/PF 系列单支脱气 / 供气膜元件（仅模组、无电控柜体），eFLOW 是集成电控 + 混水 + CO₂供气的成套整机设备，多用于产线终端纯水调质段。