• S-100：实验室纯水，离子交换 + 过滤。
• TW-250/500：电子级超纯水，MF 膜终端过滤，适合中小型清洗站。

MINIPURE 小型 / 中试超纯水机（*常用）

• S-100：实验室纯水，非再生离子交换 + 过滤；420×300×1380mm

2. NOMURACKS® 厂级模组系统（大型 Fab 主力）

• EPU-03

  场景：晶圆厂局部片区、独立制程单元供水

  核心：小流量模组，模块化拼接，扩容灵活
• EPU-10

  场景：标准中型芯片厂房、主流量产产线总供水

  核心：通用主力机型，水质稳定，适配多数成熟制程
• EPU-20×2

  场景：大型晶圆厂分区供水、多条产线并联用水

  核心：双模组并联，大流量，负载能力强
• EPU-50 / EPU-100

  场景：先进制程大厂、全厂区集中供水（3nm/2nm 等先进工艺）

  核心：超大流量，杂质控制至 ppt 级别，匹配**晶圆制造

3. 超纯水核心单元组件

• HERO® 高效 RO

  场景：整套纯水系统前端预处理

  核心：高脱盐率，耐污染，延长后端滤芯寿命
• HE-VDG 真空脱气 / AQURUS® 膜脱气

  场景：全等级超纯水制程中段

  核心：去除水中溶解气体，避免清洗产生气泡、影响良率
• EDI 电去离子

  场景：超纯水深度除离子段

  核心：连续制水，无需化学再生，适配量产线连续运行
• FINESEP® NFS 膜预处理

  场景：原水前端过滤、整套系统前置防护

  核心：拦截泥沙、胶体，保护后端精密模组
• HEATMASTER® HM 热再生过滤

  场景：高负荷、长期连续运行的纯水系统

  核心：可热再生，耗材寿命长，降低运维成本