2) 机柜式 WAC-Cabinet（WAC-1000/2000/3000）

• 外形：独立立式机柜，内置 2 瓶 CO₂气瓶
• 结构：上控制面板、下气瓶舱，带门锁与透明观察窗
• 尺寸：约 W600×D600×H1800 mm

核心原理与场景

• 原理：向超纯水定量注入 CO₂，精准控制电阻率 0.11–1.9 MΩ・cm，消除静电
• 场景：晶圆切割（Dicing）、高压清洗、FPD / 半导体湿制程
• 特点：无排气 / 排水，压力损失小（3000L/h 仅 0.06MPa）

1. Super Bubbler WAC 超纯水防静电装置

机架式 WAC-Rack

• 细分型号：WAC-1000 / WAC-2000 / WAC-3000
  场景：集成式湿清洗台、晶圆高压清洗、切割 / 研磨后水洗工位
  核心：嵌入设备内部，精准调控水体电阻率，杜绝晶圆 ESD 静电损伤

机柜式 WAC-Cabinet

• 细分型号：WAC-1000 / WAC-2000 / WAC-3000
  场景：独立大型清洗线、多工位集中供水、开放式湿制程区域
  核心：自带 CO₂气瓶舱，独立落地安装，适配大流量集中防静电需求

2. 配套监测仪器

• RC Monitor 回水污染在线监测

  场景：所有超纯水回路、清洗水回用管路

  核心：实时检测离子、颗粒污染，提前预警制程异常，防批量**
• H₂O₂ Monitor（NOXiEMON®）

  场景：双氧水清洗液管路、氧化清洗制程

  核心：实时监控过氧化氢浓度，保证清洗配方稳定，提升清洗效果