MIYUKI（美幸辉）在半导体领域以高洁净、超低泄漏、精密真空阀门与压力控制为主，覆盖刻蚀、沉积、离子注入、高纯气体管路与氦检等环节。

一、BAZ 系列定位

BAZ 系列 = 数字定点式电动真空蝶阀（00–99 档位控制）

• 品牌：MIYUKI（美幸辉，日本）
• 核心：100 档固定开度（00 = 全关，99 = 全开），重复精度高、无漂移，主打阶梯升压、分段进气、定点稳压
• 对比 BAR：
  • BAZ：数字档位（00–99），重复性好、成本更低
  • BAR：模拟量（0–10V），连续微调、闭环稳压更强

二、型号命名规则

示例：BAZ‑J50 / BAZ‑C160

• BAZ：数字定点电动蝶阀
• 中间字母（法兰 / 结构）：
  • J：JIS 日标法兰（*常用）
  • C：CF 高真空刀口法兰
  • N：KF 快装法兰（小口径）
• 数字：口径（25=DN25，50=DN50，80=DN80…160=DN160）

三、主流型号（口径 × 法兰）

小口径（25–50A，实验室 / 小腔）

• BAZ‑J25 / N25：DN25，KF25/JIS，科研腔、小样腔
• BAZ‑J40 / N40：DN40，小镀膜机、锂电小脱泡
• BAZ‑J50 / N50：DN50（*常用小口径），PVD 小腔、光学镀膜

中口径（80–100A，量产主力）

• BAZ‑J80：DN80，刻蚀、PECVD、ITO 蒸镀线
• BAZ‑J100：DN100（量产爆款），平板显示、光伏 PVD、锂电脱泡

大口径（160A，大腔体 / 高真空）

• BAZ‑J160 / C160：DN160，CF 法兰可选，大腔镀膜、真空热处理炉

四、核心技术参数（全系列通用）

真空性能

• 工作范围：常压～1×10⁻⁵ Pa（高真空）
• 内漏：≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s
• 轴封漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s

材质与洁净

• 阀体 / 蝶板：SUS304 不锈钢（低放气、低颗粒）
• 密封：FKM 氟橡胶（标准）；可选 Kalrez（耐溶剂 / 高温）
• 结构：无金属滑动、电机直驱 → 极低颗粒析出

驱动与控制（关键）

• 驱动：伺服电机直驱、无背隙、断电电磁抱闸锁阀（防意外破真空）
• 开度：00–99 共 100 档，每档 0.9°，重复精度 ±1 档
• 控制器：MS‑PC（专属，不可配 MS‑VP）
  • 本地：数码拨码设档位、LED 状态显示
  • 远程：PLC 8 位开关量指令，无源触点联锁
• 电源：DC24V±5%，功耗约 95W

温度

• 阀体：−20℃～+150℃
• 电机：≤40℃

五、核心运用场景（按行业）

1）锂电（*主力）

• 大容量脱泡炉：多段阶梯泄压，防止电解液飞溅、极片污染
• 极片干燥 / 注液腔：定点稳压（100–1000 Pa），量产一致性高

2）光学 / 显示镀膜

• 手机盖板、AR 镀膜：缓破真空（阶梯升压），避免膜层起皮、针孔
• ITO 卷绕镀膜、电子束蒸镀：分段进气，稳定工艺压力

3）半导体

• PVD/CVD 大流量进气：固定档位稳压，简化控制逻辑
• 等离子清洗、离子注入：载气分段配比，腔体压力分段控制

4）工业真空炉

• 真空退火 / 钎焊炉：升温 / 降温过程分段控压，工艺重复性好
• 氦检漏系统：分段升压、定点控压，提高检漏精度

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