MIYUKI（美幸辉）在半导体领域以高洁净、超低泄漏、精密真空阀门与压力控制为主，覆盖刻蚀、沉积、离子注入、高纯气体管路与氦检等环节。

AER 系列定位

AER 系列 = O 型圈密封・经济型 L 型真空阀（气动开关型）

• 品牌：MIYUKI（美幸辉）
• 核心：FKM O 圈轴封 + 阀座密封，无金属波纹管，成本低、结构简单、适合中真空、常规量产、非高温工况
• 系列关系：
  • AER：O 圈密封、经济型、不可烘烤
  • ABR：波纹管密封、高真空、可烘烤（**款）
  • BAR/BAZ：电动蝶阀（调节 / 定点）；AER 是气动开关阀，用于通断 / 粗抽 / 隔断

二、型号命名规则（L 型阀）

示例：AER‑N50 / AER‑J80 / AER‑C100

• AER：O 圈密封 L 型真空阀
• 中间字母（法兰）：
  • N：KF（NW）快装法兰（*常用）
  • J：JIS 日标法兰
  • C：CF 高真空刀口法兰
• 数字：口径（16=DN16、25=DN25…160=DN160）

三、主流型号（口径 × 法兰，常用款）

小口径（16–50A，预抽 / 旁路）

• AER‑N16 / N25：DN16/25，KF25，小腔预抽、破真空、实验室
• AER‑N40 / J40：DN40，小型镀膜机、锂电小脱泡、前置隔断
• AER‑N50 / J50：DN50（爆款），PVD 小腔、光学镀膜、粗抽管路

中口径（80–100A，量产主力）

• AER‑N80 / J80：DN80，刻蚀、PECVD、ITO 蒸镀线、真空炉
• AER‑N100 / J100：DN100（量产主力），平板显示、光伏 PVD、锂电大脱泡、干式泵机组

大口径（160A，大腔体）

• AER‑N160 / C160：DN160，CF/KF，大腔镀膜、真空热处理、粗抽主路

四、核心技术参数（全系列通用）

真空与密封

• 工作范围：常压～1×10⁻⁵ Pa（中真空）
• 漏率：≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s（氦检）
• 密封：阀杆 + 阀座 FKM 氟橡胶 O 圈（无波纹管）
• 反向压力：全口径支持反压（任意方向安装）

材质与温度

• 阀体：SUS304 不锈钢，内腔电解抛光（低放气）
• 温度：−20℃～+150℃（连续）；不可高温烘烤除气（O 圈限制）
• 寿命：开关≥60 万次（O 圈为易损件，需定期更换）

驱动（气动，非电动）

• 驱动：双作用气缸（16–50A 可单 / 双作用）
• 气源：0.4–0.6MPa 洁净干燥压缩空气
• 控制：DC24V 电磁阀 + NPN/PNP 磁感应开关，阀位反馈，PLC 联锁
• 缓冲：内置气缸缓冲，启闭冲击小、密封耐用

五、核心运用场景（经济型中真空**）

1）锂电（*主力）

• 电芯脱泡炉：粗抽阀、前置隔断阀，大流量快速抽气、降本
• 极片干燥 / 注液腔：破空阀、旁路通断，非高温、中真空工况

2）光学 / 显示镀膜

• 手机盖板、AR 镀膜：预抽阀、粗抽主路，快速抽气、稳定中真空
• ITO 卷绕镀膜：腔体隔断、破空，常规量产、成本敏感线

3）半导体（非高真空段）

• PVD/CVD 粗抽管路：前置阀、隔断阀，干式泵系统、中真空段
• 等离子清洗：载气通断、腔体粗抽，非烘烤工艺

4）工业真空炉 / 通用真空

• 真空退火 / 钎焊炉（非高温）：粗抽阀、主路通断
• 真空机组：泵口隔断、管路切换，经济型配置