一、热式数字质量流量控制器 MFC（核心电控型，质量流量闭环控制）

1. 3660 / 3665 标准通用经济型

核心参数

• 量程（N₂）：3660：10sccm～20SLM；3665：30～100SLM
• 测量原理：热毛细管质量传感
• 控制精度：±1.0%～±1.5% FS；重复性 ±0.5% FS
• 响应时间：≤2s（0→100% 流量 ±2% 稳定）
• 阀门：常闭电磁比例阀，断电自动关断，**型
• 压差：50～300kPa；耐压 0.98MPa；*高入口压力 0.5MPa
• 信号：0-5V、4-20mA，可选 RS485
• 接液材质：标准 SUS316L，可选哈氏合金、EP 抛光高纯款

应用场景

2. 3200 高精度小型化 MFC（超微量精密）

核心参数

• 量程：1sccm（SR 超微选项）～10SLM
• 精度：＞35% FS：±1.0% SP；≤35% FS：±0.35% FS
• 响应：≤1s；死区体积极小，气路置换快
• 泄漏率：He 检漏＜1×10⁻⁸Pa・m³/s
• 通讯：RS485、DeviceNet、EtherCAT 工业总线可选

应用场景

3. 5100 / 5410 金属密封高纯腐蚀型 MFC

核心参数

• 量程：1sccm（SR 超微选项）～10SLM
• 精度：＞35% FS：±1.0% SP；≤35% FS：±0.35% FS
• 响应：≤1s；死区体积极小，气路置换快
• 泄漏率：He 检漏＜1×10⁻⁸Pa・m³/s
• 通讯：RS485、DeviceNet、EtherCAT 工业总线可选

应用场景

3. 5100 / 5410 金属密封高纯腐蚀型 MFC

核心参数

• 全金属无 O 型圈金属硬密封，EP 电解抛光
• 量程：10sccm～50SLM
• 耐受 Cl₂、SiH₄、WF₆、HCl 等腐蚀性、剧毒、自燃特种工艺气体
• 超高洁净度，半导体 Fab 原厂标配

应用场景

4. ST-500 / ST-550 高性能数字 MFC（新一代）

核心参数

• 精度：10～100% FS：±1.0% SP；2～10% FS：±0.1% FS
• 响应≤1s；量程可软件远程修改（30～110% FS）
• ST-550 隔膜金属密封，适配强腐蚀流体
• 多总线通讯全覆盖：RS485、DeviceNet、EtherCAT
• 入口压力 0.1～0.5MPa，耐压 980kPa

应用场景

5. EX 系列 紧凑型数字 MFC

核心参数

• 超小体积，机柜密集集成专用
• 量程：5sccm～30SLM
• 全数字化电路，温漂自动补偿

应用场景

多通道气体控制柜、分析仪器集成模组、微型真空设备、便携式气体测试设备。

6. 8500 / 8700 / 8750 自带数显 MFC（就地可视化）

核心参数

• 机身集成 LCD 显示屏：瞬时流量、累积流量、报警代码本地查看
• 量程：10sccm～100SLM
• 4-20mA+RS485 双信号，无需外接二次仪表

应用场景

设备现场无控制柜、试验台独立单机、设备调试免上位机、热处理炉单路气路就地监控。

7. HFC-303 大流量气动式 MFC（超大工艺气量）

核心参数

• 两级先导气动阀，超大量程：100～1000SLM
• 精度 ±1.0% FS，大流量低压损

应用场景

大型气氛烧结炉、连续镀膜生产线、热处理连续退火炉、高纯氮气吹扫大腔体真空设备。