• • PI…Pressure Insensitive 压力变动也可控制流量稳定
  •  采用隔膜式的全金属密封MFC, 经过EP 处理以及氧化覆膜处理， 可以对应腐蚀性流体
  •  DeviceNet・EtherCAT通信对应
  •  W型密封圈接头
  • "使用SP.精度高精度计测
    全流量控制范围响应性1sec以内"
  • 可使用专用软件进行量程切换

• 支持15～24VDC宽频电源
• 模拟输出/输入0-5VDC/4-20mA可选
  

  标准规格

  传感器		热式绕组传感器
  阀门		电磁比例阀（断电时 关闭）
  对象气体		N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等
  流量范围（N2换算）		10SCCM～20SLM
  控制范围		2～100%F.S.
  响应性		2sec以内（within±2%F.S.）
  精度		±1%F.S.（25℃）
  温度系数		±0.1%F.S./℃（15～35℃）
  重现性		±0.5%F.S.
  动作压差		F.S.≦5SLM 50～300kPa、F.S.＞5SLM 100～300kPa
  入口*大圧・耐圧		500kPa(G)
  耐圧		1MPa(G)
  He泄漏率		1×10-8Pa・m3/sec以下
  允许环境温度		5～45℃
  允许保存温度		-10～60℃
  允许周围湿度		10～90%RH（未出现冷凝）
  与气体接触的材质		SUS316L,SUS316,磁性不锈钢,FKM(可选:NBR,CR)
  電気接続		D-sub9九针 KFC standard（依据SEMI standard）
  模拟流量设定信号		0～5VDC（输入Z,1MΩ以上）or 4～20mA（输入Z,250Ω）
  模拟流量输出信号		0～5VDC（负载电阻250kΩ以上）or 4～20mA（负载电阻300Ω以下）
  电源		+15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA or　24VDC（±10%）450mA
  外部尺寸		宽32mm × 高100mm(包含连接部）× 平面76mm(不包含接头)
  接头（本体口径）		标准：1/4SWL、可选：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4（9/16-18UNF）
  重量		约1,000g