• • PI…Pressure Insensitive 压力变动也可控制流量稳定
  •  采用隔膜式的全金属密封MFC, 经过EP 处理以及氧化覆膜处理， 可以对应腐蚀性流体
  •  DeviceNet・EtherCAT通信对应
  •  W型密封圈接头
  • "使用SP.精度高精度计测
    全流量控制范围响应性1sec以内"
  • 可使用专用软件进行量程切换

• 支持15～24VDC宽频电源
• 模拟输出/输入0-5VDC/4-20mA可选
  

  标准规格

  传落器类型		热式绕线型
  适用气体※1		N₂ (可根据气体转换功能适用Air,H2,He,ArO2,CO2,CH4)
  流量量程※3 (0℃,tatm)		10、30、50、100、300、500sccm, 1、3、5、10sim
  控制范围		2-100%(FS)
  响应性		所有量程控制范围1秒以内(within±2%F.S.typical)
  精度		±1.0%S.P. (>35%F.S.),0.35%FS. (≤35%F.S.)
  重现性		±0.2%FS
  动作压差※4		50-300kPa(L:50~149kpa、H:150～300Kpa)
  入口*大压力		500kPa(G)
  耐压		980kPa(G)
  外部泄漏率		1.0×10-⁸Pa ·m³/sec(He)以下
  温度	充许环境温度	5~50℃
  	精度保证温度	15~35℃
  	允许保存温度	-10～60℃
  允许环境湿度		10～90%RH(未出现冷凝)
  与气体接位部位的材 质		SUS316,SUS316L,磁性不锈钢，PTFE,PCTFE,FKM
  电气连接		Dsub9针KFC Standard(依据SEMI standard) RJ-45模块化插孔×2
  流显设置信号		V:0~5VDC(输入抗阻1MQ以上)/ I:4～20mA((输入抗阻2502以上)
  流量输出佰号		V:0～5VDC(*小负载电阻10Ω以上) I:4~20mA(*小负载电阻5002以上)
  数字通信		RS485旋转开关的地址设置 可选(MODBUS-RTU9600bps)
  所需电源		24VDC(±10%)300mA以下
  接头		1/4SW(标准)
  安装方位		建议水平方向
  重量		MFC:约500g