• 子型号：EX-250S（控制器）、EX-250S MFM（仅流量计）
• 规格：小体积、RS485 标配、DC24V；量程 10 SCCM～10 SLM（N₂）
• 适配：载气 N₂、Ar、O₂吹扫支路、半导体设备辅助气路

2）EX-550 全金属密封耐腐蚀 MFC（半导体特气主力）

• 子型号：EX-550（MFC 控制器）、EX-550 MFM（流量计）
• 结构：SUS316L 金属隔膜密封、VCR 接口，兼容 Cl₂、WF₆、SiH₄腐蚀特气
• 通讯：RS485，支持 SEMI 标准安装底座，量程 10 SCCM～30 SLM

3）EX-700R 自带数显一体式 MFC

• 完整型号：EX-700R（带显示屏）、EX-700（无屏基础款）
• 功能：面板实时瞬时 / 累计流量、本地气体参数修改、报警输出
• 量程：10 SCCM～200 SLM，大流量腔体主进气可用

4）EX-201SC 超微流量专用款