一、核心结构与工作原理

1. 检测单元：热绕组式流量传感器，传感器发热体与气体介质隔离，可**管控可燃气体，不受温度、压力波动干扰，直接测量质量流量而非体积流量。
2. 执行阀：比例电磁阀（断电自动关闭），**防气体泄漏，内置闭环 PID 流量调节。
3. 显示单元：机身集成 4.5 位数字显示屏，本地实时查看瞬时流量、累积流量、报警状态，无需外接二次仪表。

二、完整关键技术参数

1. 流量量程（氮气标定，0℃/1atm）

2. 精度与重复性

• ＞35% 满量程：±1.0% SP（设定值精度）
• ≤35% 满量程小流量段：±0.35% FS（满量程精度）
• 重复性：±0.25% FS
• 响应速度：全量程 1s 内稳定在 ±2% FS 以内，调控速度快

3. 压力与密封性

• *大耐压：1.0 MPa
• 推荐入口工作压力：0.5 MPa
• 标准压差分两档：L 档 50～149 kPa；H 档 150～300 kPa
• 泄漏率：≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s，满足高纯气体使用要求

4. 介质与接气材质

• 标配适配气体：N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂；机型内置气体换算，一键切换 7 种标准气体，无需重新标定
• 气路本体：SUS316 / SUS316L 不锈钢
• 密封圈：标配 VITON 氟橡胶；可选 NBR、FKM，适配轻度腐蚀工艺气体

5. 电气规格

• 供电：DC24V（±10%），功耗 300mA，单电源供电布线简单
• 模拟信号：0–5V DC / 4–20mA 输入输出硬件可切换
• 数字通讯：标配 RS485，上位机组网集中控制
• 报警：3 路 NPN 晶体管报警输出（35V/50mA），可接 PLC 做超限联锁
• 电气接口：DB15；通讯口圆形 4 芯航空插头

6. 环境条件

• 工作温度：5～50℃；精度保证区间 15～35℃
• 存储温度：-10～60℃
• 湿度：10%～90% RH，无凝露
• 整机重量：约 800g；安装无方位限制，横竖安装均可

7. 管路接头

三、核心产品优势

1. 自带显示屏，现场免调试
   机身数显可本地设定流量、修改气体种类、查看累积流量、设置上下限报警，现场调试无需电脑，单机即可独立运行。
2. 多气体一键切换
   内部预存 7 种常用工艺气体，触屏操作直接切换，一台 MFC 适配多种气体，降低备品数量。
3. 高低流量段双精度
   小流量区间精度大幅优于常规 MFC，小配比工艺、微量供气场景优势明显。
4. 数模双兼容
   模拟 4–20mA/0–5V 兼容老设备替换；标配 RS485 总线，适配自动化产线集中组网。
5. **可靠
   断电自动关阀、低泄漏不锈钢气路，通过 CE、RoHS 认证，出口设备合规。

四、细分型号区分

• DF-300C：标准量程 10SCCM～10 SLPM，常规小流量工艺**
• DF-350C：大流量版本，量程 20～50 SLPM，同外观、同接口，大流量扩容直接替换

五、典型应用场景

1. 光电光纤行业：光纤拉丝、预制棒工艺保护气、掺杂气精准配比
2. 实验室科研：动态配气装置、气体稀释系统、催化实验、气氛炉气氛控制
3. 锂电 / 光伏：烧结炉、镀膜机氩气、氮气保护气流量恒定控制
4. 泛半导体后段：封装、测试设备吹扫气、洁净氮气多路分配控制
5. 环保检测：烟气标定、标准气体发生器流量**调控