超高纯金属隔膜阀（富士金半导体*核心品类）

1. New Mega 系列（旗舰超高纯阀）

2. Mega 系列（经济型高纯隔膜阀）

• 型号：FUND、FUND-L、FPR-NSD
• 特点：低死体积、禁油无颗粒、性价比高
• 用途：普通吹扫气、氮气、氩气输送，厂务大宗气路、机台辅助气路开关

手动型 MEGA（FUND / FUNDL 两大子型号）

1、FUND 标准流量手动隔膜阀（基础主力）

基础型号前缀	常用完整代表型号	规格说明	半导体用途
FUND-71G	FUND-71G-6.35、FUND-71G-9.52、FUND-71G-12.7	71G=EP 抛光 VCR 接口；口径 6.35 (1/4")、9.52 (3/8")、12.7 (1/2")	特气柜旁路手动切断、氮气吹扫回路、机台辅助气手动阀
FUND-91G	FUND-91G-6.35、FUND-91G-12.7	91G = 焊接 / UJR 对焊接口，低压经济型	厂务大宗气管路、普通惰性气体管路开关
后缀 UG	FUND-71G-6.35UG、FUND-71G-9.52UG	UG=VCR 内螺纹母头配置	VCR 阀组盘标配对接
后缀 - 2	FUND-71G-6.35-2	-2 = 小 Cv 限流版本，流量更小	微量吹扫、真空微泄调节回路

2、FUNDL 低流量版手动隔膜阀（L=Low-flow）

完整代表型号	特性	应用场景
FUNDL-71G-6.35、FUNDL-71G-6.35-2	同等口径更小 Cv、低死体积	ALD 微量吹扫、微流量平衡气、真空缓慢泄压
FUNDL-71G-9.52、FUNDL-91G-12.7	大口径低流量选型	腔体缓慢充气防扬尘、小流量配比回路

二、气动型 MEGA（FPR-NSD / FPR-ND 两大气动体系，半导体自动气路主流）

1、FPR-ND 常闭基础气动款（ND=Normally Closed 常闭）

典型完整型号	结构定义	使用场景
FPR-ND-71-3.2、FPR-ND-71-6.35	71 阀体、常闭 NC、标准流路	普通工艺气通断、吹扫气自动开关
FPR-ND-71-6.35-2、FPR-ND-71-9.52-2	后缀 - 2 = 限流小流量版本	精密小流量气路切断
FPR-ND-91-6.35	91 阀体、对焊接口经济型	成本优先批量气路阀组

2、FPR-NSD 升级版气动 MEGA（NSD = 改良密封长寿命款）

典型完整型号	特点	应用
FPR-NSD-71-6.35、FPR-NSD-71-9.52	密封性更好、启闭寿命更长、低析出	轻微腐蚀性辅助特气、频繁启闭回路
FPR-NSD-721-6.35、FPR-NSD-721-3.2	721 紧凑型阀体，体积更小	阀块集成 IGS 模组、狭小阀盘安装
FPR-NSDTB-721-6.35	TB = 双通 / 旁路换向结构	气路切换、吹扫 / 工艺气两路切换
后缀 316LP	FPR-NSD-71-6.35-316LP	阀体材质标注、出厂禁油洁净处理	半导体洁