ULVAC爱发科 UR高温多级罗茨干式真空泵

核心定位：LR / HR / UR 三级温控区分

系列	泵体恒温区间	工艺等级	核心适用
LR	低温均热（60–90℃）	洁净轻度工艺	PVD、Loadlock、无腐蚀镀膜
HR	高温均热（120–150℃）	标准腐蚀工艺	普通 CVD、常规干法刻蚀、灰化
UR	超高温全域伴热（150–200℃）	重度腐蚀 / 高沉积硬工艺	ALD、多晶硅 LPCVD、金属刻蚀、硅长晶、大量氯化铵 / 氟化物副产物

二、UR 系列主流型号参数表

型号	50Hz 抽速 (m³/h)	60Hz 抽速 (m³/h)	极限真空 (Pa)	电机功率	进气法兰	整机重量
UR421-T	410	598	0.05	30kW	ISO100	415kg
UR600	653	700	0.05	37kW	ISO100	460kg
UR1200	1090	1170	0.005	45kW	ISO160	530kg
UR1800	1750	1920	0.005	55kW	ISO160	620kg
UR3601	3580	4450	0.005	75kW	ISO200	880kg

供电：三相 200V/400V 50/60Hz，标配强制水冷 + 管路伴热接口

三、UR 独有核心技术（对比 HR *大优势）

1. 全域超高温均热 + 进出口管路伴热一体化

1. 全多级转子腔体恒温150~200℃，高于 HR *高 150℃阈值；
2. 进气口、泵腔、排气段全程同步控温，支持外接排气管伴热；
3. 彻底杜绝 NH₄Cl、金属氟化物、硅氯化物低温冷凝结块，HR 无外置管路伴热功能，重沉积工艺极易堵泵；
4. 连续 24h 量产运行，泵腔积粉量比 HR 降低 70% 以上，大幅拉长保养周期。

2. **强化防腐系统

1. 转子、气缸、各级隔板采用双层超硬防腐涂层，耐 HF、HCl、Cl₂、各类卤素腐蚀介质；HR 仅单层防腐涂层；
2. 全段多级分段氦气屏蔽轴封，轴封吹扫氮气流量比 HR 提升 40%，阻挡粉尘侵入轴承；
3. 全封闭屏蔽防爆电机（Canned Motor），真空腔与润滑油腔完全隔离，零介质泄漏风险，适配晶圆洁净防爆车间。

3. 高粉尘耐受结构

• 罗茨转子加大间隙设计，不易卡粉；
• 各级腔体预留吹扫分支，可分段通入高纯 N₂冲刷沉积粉体；
• 大口径进出气法兰，不易堵管，适配硅长晶、多晶硅 CVD 超大粉尘工况。

4. 产线工业级配套功能

1. 1000ms 电网瞬停保护：突发断电恢复后自动重启，刻蚀 / ALD 连续生产不宕机；
2. 标配 RS485 工业通讯，可远程读取温度、真空、吹扫流量、累计运行时长、故障代码；
3. 可选 ECO-SHOCK 节能模块：极限真空待机工况节电*高 80%，大幅降低大厂电费；
4. 一体式加厚消音箱体，运行噪音 70~74dB (A)，支持洁净车间就近摆放；
5. 全机水冷强化回路，大流量冷却水通道，超高温工况不超温报警。

四、标准使用条件

1. 冷却水：水压 0.2~0.5MPa，*小流量≥6L/min，进水温度≤22℃（水温过高会削弱超高温均热效果）；
2. 吹扫介质：干燥高纯氮气，总吹扫流量 8~12SLM（高于 HR 的 5SLM）；
3. 前端必须配套工艺粉尘过滤器，禁止无过滤直抽高浓度粉体；
4. 环境：Class1000/10000 半导体洁净厂房，通风良好，废气管路全程保温伴热