日本ULVAC爱发科 PRC机械增压罗茨泵

主流型号基础参数

型号	50Hz 抽速 (m³/h)	电机功率	进出气法兰	冷却方式	整机重量
PRC-003A	280	0.75kW	VG80	水冷	85kg
PRC-006A	560	2.2kW	VG80	水冷	112kg
PRC-012A	1120	3.7kW	VG100	水冷	168kg
PRC-018A	1500	5.5kW	VG100	水冷	225kg

供电：三相 200V 50/60Hz；极限真空由前级泵决定，自身增压区间 10Pa ~ 10000Pa

二、PRC **核心技术（和普通 PMB 罗茨*大差异）

1. 屏蔽式密封电机（Canned Motor）

无大气 - 真空贯通机械轴封，彻底杜绝润滑油渗漏、油蒸气污染腔体，晶圆 / 光学膜零污染风险，半导体洁净车间专用标配。

2. 泵腔全干式无油

转子非接触运转，腔体内部无润滑油脂，可稳定抽取水蒸气、低沸点溶剂挥发气体，不会油乳化失效。

3. 整机硬质阳极氧化防腐涂层

壳体、转子做高硬度氧化铝处理，耐轻微卤素、水汽、工艺粉尘，不易划伤腐蚀；可选加强防腐涂层适配轻度腐蚀制程。

4. 可选大气压直启型（配变频器）

常规罗茨泵需要前级预抽降压后才能启动；PRC 大气压启动款可与前级泵同步从大气压开机，大幅缩短腔体抽气节拍，提升产线 UPH。

5. 低震动、低噪音一体化水冷

全机强制水冷散热，连续 24h 量产不升温；一体式减震底座，洁净车间可近距离摆放。

三、标准配套机组方案

1. 光学 / 显示镀膜：LS120/300（前级干泵）+ PRC 增压泵 → 溅射、蒸镀、离子镀大腔体快速抽气
2. 半导体 Loadlock 预抽：LR 系列 + PRC → 多腔体并行预抽，缩短换片等待时间
3. CVD / 刻蚀中真空段提速：HR/UR 腐蚀干泵 + PRC，解决 10~1000Pa 区间抽速不足问题
4. 冻干、真空脱泡：油旋片泵 + PRC，大流量水汽快速排出

四、适用场景

高洁净半导体 / 光电（主力）

PVD 溅射、光学蒸镀、OLED/LCD 薄膜沉积、晶圆 Loadlock、离子镀膜、真空检漏台

工业精密真空

真空冷冻干燥、锂电池真空烘烤、热处理炉、真空脱气、气体置换充填设备

五、PRC vs PMB 通用罗茨泵对比

1. PRC：屏蔽电机、无轴封、超高洁净、全水冷、原装进口，半导体精密工艺专用，成本更高
2. PMB：普通贯穿轴封电机、有空冷可选、价格更低，通用工业、无高洁净要求工况

六、PRC 与 HR/UR/LS 系列本质区别

1. PRC（增压泵）：只能串联使用，作用是放大中真空抽速，不能单独抽大气
2. LS 螺杆干泵：独立前级泵，大气压直抽，静音节能，洁净 / 轻工艺
3. LR 标准多级罗茨：独立前级泵，洁净镀膜、无腐蚀工况
4. HR 高温多级罗茨：独立前级泵，标准 CVD / 刻蚀，高温防沉积
5. UR 超高温多级罗茨：独立前级泵，重度腐蚀 ALD、多晶硅 LPCVD

七、使用条件

1. 冷却水：流量≥2L/min，进水温度 5~30℃
2. 不可单独空载运行，必须搭配匹配抽速前级泵联动控制
3. 前端建议加装粉尘过滤器，防止颗粒进入转子间隙卡泵
4. 无分段氮气吹扫，不可直接抽取高浓度强酸、大量硅粉尘（腐蚀工艺请用 HR/UR 做主泵）