ULVAC爱发科 GR多级罗茨干式真空泵

核心型号参数表

型号	50Hz 抽速 (m³/h)	60Hz 抽速 (m³/h)	极限真空	电机功率	进气法兰	整机重量	冷却
GR60A	62	80	5Pa	2.2kW	KF50	170kg	水冷
GR90A	112	126	5Pa	3.7kW	KF50	230kg	水冷
GR180A	183	237	5Pa	5.5kW	KF80	300kg	水冷

供电：三相 200/400V 50/60Hz；标配一体式底座、减震脚轮、内置消音器

三、GR 核心特点（对比 LR/HR 关键差异）

1. 结构简化、性价比高

• 普通开放式感应电机（非 LR 屏蔽电机），可选防爆电机；无昂贵氦气轴封屏蔽结构
• 无腔体恒温加热系统，无高温防凝能力，不能抽易冷凝、卤素、硅粉尘工艺气体
• 转子仅标准 DRP 基础阳极氧化涂层，仅耐受洁净空气、氮气，轻微水汽
• 控制系统简化，无 ECO-SHOCK 节能模块、无精密分段氮气吹扫回路

2. 耐高频反复抽气（核心优势）

专为 Loadlock 腔体设计，支持大气压↔真空高频循环启停，高压区间长时间连续运行不易过热，节拍循环稳定性优于 LS 螺杆泵，面板、封装产线大量使用。

3. 全干式无油洁净

多级罗茨非接触转子，泵腔无润滑油，无油蒸气污染基板 / 晶圆，满足一般洁净制程；水冷持续散热，24h 连续量产稳定，运行噪音 64~68dB (A)。

4. 维护简单、运维成本低

零部件通用化，密封件、轴承易采购；无需持续轴封吹扫氮气，日常仅更换冷却水滤芯、进气过滤器。

四、适用场景（严格区分使用边界）

1. 半导体 / 显示中低端洁净制程

• 镀膜设备 Loadlock 装载腔预抽（PVD、蒸镀、光学膜层）
• 芯片封装、真空检漏、器件脱气
• 无刻蚀 / CVD、无腐蚀副产物的洁净工位

2. 通用工业量产

• 锂电池真空烘烤、气体置换、真空脱泡
• 光伏基板清洗、真空热处理、真空干燥
• 实验室洁净腔体、真空包装、树脂脱气