ULVAC爱发科 CR风冷多级罗茨干式真空泵

二、主流型号完整参数表（Ver.B 新款）

型号	50Hz 抽速 (m³/h)	极限真空 (Pa)	电机功率	法兰	整机重量	供电	冷却
CR16B	16	≤3	0.72kW	KF25	35kg	单相 100/200V	风冷
CR30B	30	≤0.5	1.5kW	KF40	48kg	单 / 三相 200V	风冷
CR60B-S/T	55	≤3	1.5kW	KF40	48kg	S 单相 / T 三相	风冷
CR300B	300	≤0.5	3.0kW	KF50	100kg	三相 200V	风冷

关键通用规格

1. 内置气镇阀，*大耐受水汽 500g/h，可抽轻度水蒸气；
2. 标配一体式消音器，运行噪音 60~66dB (A)；
3. 自带静音万向脚轮，方便移动摆放；
4. 标准 RS485 远程通讯、运行计时、故障报警；
5. 通过 CE、cTUVus 国际**认证。

三、CR 系列独有核心优势（区别 GR/LR/LS）

1. 强制风冷，零水路配套（*大亮点）

GR/LR/HR/UR/LS 全部水冷，需要铺设冷却水、循环水机；CR 纯风冷，无需水管、水冷机、水路过滤器，小型设备、实验室直接落地即用，基建成本大幅降低。

2. 轻量化小型机身

*小 CR16B 仅 35kg，桌面 / 设备机架均可放置；同抽速下体积只有 GR 的 1/2，适配紧凑型设备集成。

3. 无持续氮气消耗

无轴封吹扫需求，仅气镇按需少量洁净干燥空气，长期运**耗成本几乎为 0。

4. DC 屏蔽密封电机

真空腔与电机油腔完全隔离，杜绝油蒸气返流污染腔体，满足光学、小型半导体洁净需求。

5. 自带水汽处**镇机构

抽含水汽工件、真空干燥时打开气镇，防止水蒸气在泵内冷凝乳化，适合小型低温干燥设备。

四、结构与短板（选型避坑）

1. 无腔体加热恒温：不能抽硅粉、卤素、氯化物等易冷凝腐蚀气体，严禁 CVD / 刻蚀工艺；
2. 防腐等级低：转子仅基础阳极氧化，只能抽洁净空气、氮气、微量水汽；
3. 大流量长时间高负荷工况易升温，量产大型 Loadlock 不推荐，优先 GR/LR 水冷款；
4. 无分段多级吹扫，不能处理粉尘工况，前端必须加装精密进气过滤器。

五、适用场景

1. 实验室 / 研发设备（主力）

小型溅射、实验室蒸镀、等离子清洗、样品真空脱气、检漏台、小型热处理炉

2. 中小型光电设备

小型光学镀膜、镜头蒸镀、小型 OLED 研发机、小腔体 Loadlock 预抽

3. 通用轻工小型产线

小型锂电池烘烤、小型真空干燥、树脂脱泡、真空包装、气体置换

4. 配套分子泵前级

搭配小型 TMP 分子泵机组，替代油旋片泵，实现全无油洁净真空系统