ULVAC爱发科 RS 系列干泵专用排气消音器

一、全型号规格与适配泵型

1. 三大基础型号

型号	材质	重量	降噪幅度	适配干泵机型
RS-01	SUS304 不锈钢	4.1kg	11~19dB(A)	CR16/30/60、GR60/90、LR60/90/300
RS-02	SUS304 不锈钢	8.3kg	12~20dB(A)	GR180、LR600/1200、LS300/600
RS-03	SUS304 不锈钢	大型款	4dB(A)	HR421、UR 全系列、LR3601 超大流量干泵

配套套件区分（Kit A/B/C/D）

• Kit A：小型罗茨 / 螺杆（CR60、GR90、LR300）单支安装
• Kit B：中大流量 LR600/1200，双消音并联
• Kit C：GR180、CR300 大机型配套
• Kit D：迷你 CR16/CR30 小型风冷干泵专用

二、核心结构与优势

1. 全不锈钢防腐腔体
   内壁做 GBB 防锈涂层，可耐受氮气、氩气、洁净工艺尾气，轻度水汽环境可用；严禁直接通入高浓度卤素、粉尘、强酸尾气（会堵塞吸音层）。
2. 卡箍快装接口（标准 NW40）
   无需焊接，直接对接干泵原厂排气法兰，拆装维护 5 分钟完成。
3. 多层复合吸音结构
   内部分流气道 + 耐高温吸音棉，不阻挡排气流量，加装后不会降低干泵抽速、极限真空。
4. 低占地立式筒型设计
   立式圆筒摆放，不占用设备操作空间，底部预留排水口，可收集冷凝微量水汽。
5. 洁净车间友好
   无粉尘脱落、无二次污染，适配半导体、光学无尘厂房环境。

三、降噪实测效果

工况	未装 RS 噪音	加装 RS 后噪音	降噪值
RS-01 60Hz 满载	88dB(A)	69dB(A)	19dB(A)
RS-02 50Hz 满载	84dB(A)	72dB(A)	12dB(A)
RS-03 大流量泵	71dB(A)	67dB(A)	4dB(A)

四、使用限制（选型避坑）

1. 禁止工况
   • 带大量硅粉、氯化物、氟化氢等腐蚀 / 粉尘工艺（HR/UR 刻蚀泵后端需加装粉尘过滤器后再接 RS，否则吸音层堵塞失效）；
   • 高溶剂、高冷凝蒸汽长期直排；
   • 易燃易爆工艺尾气不可使用。
2. 维护周期
   洁净工况 6~12 个月清理一次内部吸音棉；粉尘工况 3 个月定期拆洗，堵塞会造成泵排气背压升高、真空变差。
3. 安装要求
   立式摆放，底部排水孔朝下；排气管路避免弯折憋压。

五、配套搭配场景

1. 光学 / 显示产线：LR/LS 干泵 + RS 消音器，洁净车间降低噪音至 70dB 以内；
2. Loadlock 量产工位：GR 系列经济型干泵标配 RS-01；
3. 实验室小型设备：CR 风冷干泵搭配 RS-01 Kit D；
4. 中型镀膜线 LR600/1200：双支 RS-02 并联套件；
5. 腐蚀工艺 HR/UR 刻蚀泵：前端先装工艺过滤器，后端再接 RS 消音。