ULVAC爱发科 LR低温多级罗茨干式真空泵

全系列主流型号参数表

型号	50Hz 抽速 (m³/h)	60Hz 抽速 (m³/h)	极限真空 (Pa)	电机功率	进气法兰	整机重量
LR60	62	80	≤5	2.2kW	VG50	180kg
LR90	112	126	≤5	3.7kW	VG50	245kg
LR180	183	237	≤1	7.5kW	VG80	335kg
LR421	440	440	≤1	15kW	VG100	415kg
LR600	653	701	≤0.67	37kW	VG100	460kg
LR1200	1090	1170	≤0.67	45kW	VG100	530kg
LR1800	1701	1784	≤0.67	55kW	VG150	545kg
LR3601-R	3200	-	≤0.67	75kW	ISO200	880kg

统一规格：三相 200/400V 50/60Hz、水冷、排气标准 KF40 法兰、标配 RS485 通讯、一体式消音箱体

三、LR 核心独有技术（与 GR/HR 关键区分）

1. 低温均热系统（标志性设计）

泵腔全域稳定60~90℃低温恒温，利用压缩热抑制水汽、微量粉尘冷凝粘附；

• 对比 GR：GR 无加热，水汽易结露积垢；
• 对比 HR：HR120~150℃高温，适配腐蚀工艺，LR 仅适合洁净轻度工况。

2. 屏蔽式氦气密封电机（高洁净核心）

真空腔体与电机润滑油腔完全隔离，无贯通机械轴封，搭配分段氦气轴封吹扫，杜绝油蒸气泄漏污染晶圆、光学膜；GR 为普通开放式电机，无氦屏蔽，洁净等级更低。

3. DRP 标准防腐涂层

转子、腔体硬质阳极氧化处理，耐受氮气、氩气、微量水汽、轻度硅粉尘；不可长期抽取高浓度卤素、氯化物、大量升华副产物（该场景选 HR/UR）。

4. 高频循环耐受设计

专为 Loadlock 反复「大气压→真空」启停优化，高压区间连续运行不升温、极限真空稳定，产线节拍提升明显；可选 ECO-SHOCK 节能模块，空载待机省电 70%~80%。

5. 工业级稳定配套

• 1000ms 电网瞬停保护，断电恢复自动重启，产线不宕机；
• 分段氮气吹扫回路，阻挡粉尘侵入轴承；
• 整机减震底座，运行噪音 68~72dB (A)，洁净车间就近摆放；
• 支持搭配 PRC 机械增压泵串联，大幅提升中真空抽速。

四、标准使用工况要求

1. 冷却水：流量≥5L/min，水压 0.1~0.3MPa，进水温度≤25℃，水温过高破坏均热防凝效果；
2. 吹扫氮气：干燥高纯 N₂，标准总流量 5SLM，轴封 + 各级腔体分段吹扫；
3. 进气限制：仅洁净空气 / 氮气、微量水汽；前端必须配粉尘过滤器，禁止强酸、氟氯腐蚀气体直抽；
4. 环境：Class1000/10000 无尘厂房，通风良好。

五、适用行业场景

1. 半导体 / 显示面板（主力）

• PVD 溅射、光学蒸镀、OLED/LCD 薄膜沉积设备主抽泵；
• 晶圆 Loadlock 装载腔快速预抽、多腔体并行抽气；
• 分子泵 (TMP) 配套前级泵、真空检漏台；
• 无腐蚀、无大量副产物的轻度 CVD 制程。

2. 精密工业

**光学镜头镀膜、光伏基板镀膜、锂电池无尘真空烘烤、真空热处理炉。