欢迎进入玉崎半导体（深圳）有限公司网站！
加入收藏|设为首页

成为连接全球半导体资源
与国内终端需求的核心桥梁

全 国 服 务 电 话
13530227878

您的位置 : 首页 > 产品中心 > FUJIKIN富士金
产品分类导航
PRODUCT CENTER
YAMATO 雅马拓
MULTI 万用仪器
Sensirion 瑞士
LUCEO
King Instrument
OHARA小原光学
DAIICHI KEIKI **計器
METROL美德龙
E+H恩德斯豪斯
Kroh科隆
YODOGAWA 淀川
KANSAI-METAL 关西金属工业所
TEXIO德士
日本 ACT
写真化学KAKUHUNTER
三菱化学
NBK锅屋
尼得科 NIDEC
ITOH 伊藤制作所
HEIDON 新东科学
TOKI SANGYO 东机产业
FITOK 飞托克
NIPPON GEAR日本齿轮
LEPTRINO 莱普力诺
RGL JOINT利佳诺
IMAO今尾
Dwyer德威尔
MKS
SIBATA 柴田
VAT 瑞士
SANVAC
MW-BellowsTech
YOKOGAWA横河电机
MW-Servometer
MW-Ameriflex
NVC日本阀门控制
PARKER 派克
LIMITORQUE 利密托克
Keihin 京滨
Ninomiya二宫电线
YOSHITAKE耀希达凯
AND爱安德
Nuvoton新唐科技日本
IHARA伊原科学
KITZ开滋
CKD喜开理
SWAGELOK世伟洛克
NAGANO KEIKI长野计器
DIAVAC大亚真空
KOHZU神津精机
TAKAI 高井
IKC入江工研
MTL
日油技研工業株式会社
SURUGA骏河精机
JSR株式会社
HAMAMATSU滨松
BROOKS布鲁克斯
FLUORO福乐
Sumitomo住友重工
OHKURA大仓
NPM日脉
KURIMOTO栗本铁工
KONAN甲南电机株式会社
NDV日本大屋阀门株式会社
EYE岩崎
NIKKATO日陶科学
TAIYO 太陽ホールディングス
HORIBA 堀场
SANKO三高
SUGIYAMA杉山电机
KOFLOC科赋乐
Murata村田制作所
NMS野村微水
Otsuka大塚
SENGOKU千石电热
日本SMC
VTEX（株式会社ブイテックス）
HUGLE藤宫
USHIO牛尾
MIYUKI美幸辉
OSI王子计测
Pfeiffer普发
BUSCH普旭
（SUN SCIENTIFIC サン科学）太阳科学
Shinko Electric新光电气
SSD西西蒂
SIMCO思美高
KASUGA 春日电机
SUNJE禅才
DIT东日技研
TOMOEGAWA 巴川集团
EBARA荏原
EDWARDS爱德华
ULVAC爱发科
LEYBOID 莱宝
SATOVAC 佐藤真空
EMP榎本
TAIKO（大晃）
TSURUMI（鹤见）
KASHIYAMA樫山工业
YAMADA（山田）
MAKITA牧田
ANEST IWATA（阿耐思特岩田）
OSAKA VACUUM大阪真空
IWAKI易威奇
KYOCERA京瓷
Orientalmotor东方马达
KYOWA共和电业
ADVANTEC东洋
SEM坂本电机
SAKAGUCHI坂口电热
KOTOHIRA琴平工业
KANOMAX加野麦克斯
PILLAR皮拉
DIC迪爱生
ASAHI YUKIZAI旭有机材
ANALYZER**热研
CCS晰写速
TOKYO KEISO东京计装
FUJIKIN富士金
ADVANCE安德旺斯
TORAY东丽
SIBATA柴田
REVOX莱宝克斯
NFK南国工业株式会社
MATSUO松尾
OMRON欧姆龙
KEYENCE基恩士
Fujikin富士金FP-71系列自动球形波纹管阀
产品型号： FP-71-9.52#A
产品简介：

Fujikin富士金FP-71系列自动球形波纹管阀 P-71 为气动驱动球形波纹管密封自动阀，属于 FINE PURE 超高纯洁净系列，全流程无油洁净制造；金属波纹管隔离驱动机构与介质，零外泄漏，适配半导体特种气体、真空管路，紧凑型 globe 球形流道，流阻低、响应快.
详细介绍

Fujikin富士金FP-71系列自动球形波纹管阀

核心优势

波纹管全隔离密封：介质不接触气动执行组件，剧毒 / 腐蚀 / 自燃气体无外漏风险，真空保压性能优异

无油洁净等级：阀体电解抛光 SUS316L，可选 UP 超高纯电解抛光，满足半导体芯片制程超高纯要求

气动自动驱动：标准常闭 NC，可选常开 NO；标准驱动气压 0.4~0.7MPa

金属垫片 UJR 接头：全金属密封，无塑胶垫圈析出污染，适配高纯特种气体

小巧轻量化，设备机台密集管路集成安装；可选阀位反馈开关、UP 表面处理、背压规格

系列分类 完整标准型号 公称管径 (mm) 对应英制管径 接头类型 额定 Cv 值 核心基础规格 典型适用场景
标准直通公头款（基础款） FP-71-6.35#A 6.35 1/4" 两端 UJR 金属垫片公头 0.3 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 半导体机台 1/4" 高纯气体管路、实验室小口径气路
标准直通公头款（基础款） FP-71-9.52#A 9.52 3/8" 两端 UJR 金属垫片公头 0.8 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 通用工业高纯气路、光伏设备 3/8" 工艺管路
标准直通公头款（基础款） FP-71-12.7#A 12.7 1/2" 两端 UJR 金属垫片公头 1.4 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 主路大流量高纯气体切断、真空管路主阀
标准直通母头款 FP-71-6.35-2#A 6.35 1/4" 两端 UJR 金属垫片母头 0.3 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 管路末端母头对接、设备面板安装阀
标准直通母头款 FP-71-9.52-2#A 9.52 3/8" 两端 UJR 金属垫片母头 0.8 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 多管路汇流母头对接、洁净柜面板安装
标准直通母头款 FP-71-12.7-2#A 12.7 1/2" 两端 UJR 金属垫片母头 1.4 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 大流量管路母头对接、真空腔体主进气阀
异径三通款 FP-TB-71-6.35X6.35#A 6.35×6.35 1/4"×1/4" 三通 UJR 公头 0.3 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，双路同径 两路同径气体管路三通切换、吹扫旁路
异径三通款 FP-TB-71-9.52X6.35#A 9.52×6.35 3/8"×1/4" 三通 UJR 公头 0.8 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，异径设计 主路 3/8"、旁路 1/4" 的异径三通切断
异径三通款 FP-TB-71-12.7X9.52#A 12.7×9.52 1/2"×3/8" 三通 UJR 公头 1.4 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，异径设计 大流量主路 1/2"、旁路 3/8" 的三通切换
超高纯洁净升级款 FP-ND-71-6.35UG 6.35 1/4" 两端 UJR 公头 0.3 UG 超高纯洁净处理，低微粒析出，SUS316L 半导体晶圆制造超高纯特种气体管路
超高纯洁净升级款 FP-ND-71-9.52UG 9.52 3/8" 两端 UJR 公头 0.8 UG 超高纯洁净处理，低微粒析出，SUS316L 面板厂、锂电设备超高纯工艺气路
超高纯洁净升级款 FP-ND-71-12.7UG 12.7 1/2" 两端 U


参数项目 标准规格
阀体材质 SUS316L 不锈钢，波纹管 SUS316L
阀座密封 标准 PCTFE；可选 PI 聚酰亚胺耐高温阀座
*高工作压力 常温 40℃：1.0MPa；80℃：0.86MPa；100℃：0.84MPa
使用温度区间 -10℃ ~ +80℃（PCTFE 阀座）
驱动方式 气动（空气驱动），标准常闭 N.C.，可选常开 N.O.
驱动气源压力 0.4 ~ 0.7 MPa 洁净干燥空气
洁净等级 出厂禁油，可选 UP 超高纯抛光处理
连接方式 UJR 金属垫片接头（公头 / 母头可选）
流道 Cv 值 6.35(1/4")=0.3；9.52(3/8")=0.8；12.7(1/2")=1.4
适用介质 超高纯氮气 / 氩气、硅烷、氨气、氯气、特种腐蚀气体、真空管路
防护 波纹管零泄漏，无介质污染执行器

材料 采用不锈钢（SUS316L）制成
清洁 wan全不含油
*大工作压力（兆帕） 1
*高工作温度（℃） 80
zui低工作温度（℃） -10
连接格式 金属垫片型
特征 特种材料气体，真空