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Fujikin富士金FP-71系列自动球形波纹管阀
产品型号： FP-ND-71-9.52UG
产品简介：

Fujikin富士金FP-71系列自动球形波纹管阀 P-71 为气动驱动球形波纹管密封自动阀，属于 FINE PURE 超高纯洁净系列，全流程无油洁净制造；金属波纹管隔离驱动机构与介质，零外泄漏，适配半导体特种气体、真空管路，紧凑型 globe 球形流道，流阻低、响应快.
详细介绍

Fujikin富士金FP-71系列自动球形波纹管阀

核心优势

波纹管全隔离密封：介质不接触气动执行组件，剧毒 / 腐蚀 / 自燃气体无外漏风险，真空保压性能优异

无油洁净等级：阀体电解抛光 SUS316L，可选 UP 超高纯电解抛光，满足半导体芯片制程超高纯要求

气动自动驱动：标准常闭 NC，可选常开 NO；标准驱动气压 0.4~0.7MPa

金属垫片 UJR 接头：全金属密封，无塑胶垫圈析出污染，适配高纯特种气体

小巧轻量化，设备机台密集管路集成安装；可选阀位反馈开关、UP 表面处理、背压规格

系列分类 完整标准型号 公称管径 (mm) 对应英制管径 接头类型 额定 Cv 值 核心基础规格 典型适用场景
标准直通公头款（基础款） FP-71-6.35#A 6.35 1/4" 两端 UJR 金属垫片公头 0.3 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 半导体机台 1/4" 高纯气体管路、实验室小口径气路
标准直通公头款（基础款） FP-71-9.52#A 9.52 3/8" 两端 UJR 金属垫片公头 0.8 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 通用工业高纯气路、光伏设备 3/8" 工艺管路
标准直通公头款（基础款） FP-71-12.7#A 12.7 1/2" 两端 UJR 金属垫片公头 1.4 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 主路大流量高纯气体切断、真空管路主阀
标准直通母头款 FP-71-6.35-2#A 6.35 1/4" 两端 UJR 金属垫片母头 0.3 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 管路末端母头对接、设备面板安装阀
标准直通母头款 FP-71-9.52-2#A 9.52 3/8" 两端 UJR 金属垫片母头 0.8 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 多管路汇流母头对接、洁净柜面板安装
标准直通母头款 FP-71-12.7-2#A 12.7 1/2" 两端 UJR 金属垫片母头 1.4 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，PCTFE 阀座 大流量管路母头对接、真空腔体主进气阀
异径三通款 FP-TB-71-6.35X6.35#A 6.35×6.35 1/4"×1/4" 三通 UJR 公头 0.3 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，双路同径 两路同径气体管路三通切换、吹扫旁路
异径三通款 FP-TB-71-9.52X6.35#A 9.52×6.35 3/8"×1/4" 三通 UJR 公头 0.8 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，异径设计 主路 3/8"、旁路 1/4" 的异径三通切断
异径三通款 FP-TB-71-12.7X9.52#A 12.7×9.52 1/2"×3/8" 三通 UJR 公头 1.4 常闭气动驱动，SUS316L 阀体，异径设计 大流量主路 1/2"、旁路 3/8" 的三通切换
超高纯洁净升级款 FP-ND-71-6.35UG 6.35 1/4" 两端 UJR 公头 0.3 UG 超高纯洁净处理，低微粒析出，SUS316L 半导体晶圆制造超高纯特种气体管路
超高纯洁净升级款 FP-ND-71-9.52UG 9.52 3/8" 两端 UJR 公头 0.8 UG 超高纯洁净处理，低微粒析出，SUS316L 面板厂、锂电设备超高纯工艺气路
超高纯洁净升级款 FP-ND-71-12.7UG 12.7 1/2" 两端 U


参数项目 标准规格
阀体材质 SUS316L 不锈钢，波纹管 SUS316L
阀座密封 标准 PCTFE；可选 PI 聚酰亚胺耐高温阀座
*高工作压力 常温 40℃：1.0MPa；80℃：0.86MPa；100℃：0.84MPa
使用温度区间 -10℃ ~ +80℃（PCTFE 阀座）
驱动方式 气动（空气驱动），标准常闭 N.C.，可选常开 N.O.
驱动气源压力 0.4 ~ 0.7 MPa 洁净干燥空气
洁净等级 出厂禁油，可选 UP 超高纯抛光处理
连接方式 UJR 金属垫片接头（公头 / 母头可选）
流道 Cv 值 6.35(1/4")=0.3；9.52(3/8")=0.8；12.7(1/2")=1.4
适用介质 超高纯氮气 / 氩气、硅烷、氨气、氯气、特种腐蚀气体、真空管路
防护 波纹管零泄漏，无介质污染执行器

材料 采用不锈钢（SUS316L）制成
清洁 wan全不含油
*大工作压力（兆帕） 1
*高工作温度（℃） 80
zui低工作温度（℃） -10
连接格式 金属垫片型
特征 特种材料气体，真空