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Fujikin富士金FP-51系列自动球形波纹管阀
产品型号：FP-51-6.35#A
产品简介：

Fujikin富士金FP-51系列自动球形波纹管阀 FP-51 气动直通球形波纹管阀，焊接式接口，FINE PURE 全禁油洁净系列；金属波纹管隔离介质与气动执行机构，氦检零泄漏，适配半导体真空、腐蚀 / 高纯特种气体；体积比 FP-71 更小巧，设备密集管路焊接集成专用。
详细介绍


Fujikin富士金FP-51系列自动球形波纹管阀

核心通用参数

参数项目 标准规格
阀体 / 波纹管材质 SUS316L 不锈钢
标准阀座 PCTFE（可选 PI 耐高温阀座）
*高工作压力 常温 40℃：1.0MPa；80℃：0.86MPa
使用温度 -10℃ ~ +80℃
驱动方式 气动，标准常闭 NC，可选常开 NO
驱动气源 0.4~0.7MPa 洁净干燥空气
连接方式 焊接式（无缝管插焊）
洁净等级 出厂禁油，可选 UP 超高纯电解抛光
泄漏标准 内外漏率≤5×10⁻¹² Pa・m³/s
耐久寿命 ≥9000 次开关循环

三、标准型号清单

完整型号 管径 OD 英制管径 Cv 流量系数 连接方式
FP-51-6.35#A 6.35mm 1/4" 0.3 两端插焊
FP-51-9.52#A 9.52mm 3/8" 0.8 两端插焊
FP-51-12.7#A 12.7mm 1/2" 1.4 两端插焊
#A 为出厂批次标识，订货保留即可，不改变规格。

四、可选选配后缀（型号末尾追加）

后缀 功能说明 使用场景
-UP 阀体 UP 超高纯电解抛光，Ra≤0.2μm 半导体刻蚀、沉积超高纯气体
-PI PI 聚酰亚胺阀座，耐温 150℃ 高温工艺气路、热真空腔体
-DFZ 内置阀位反馈传感器 PLC 自动化远程监控开关状态
-NO 气动执行器改为常开型（标准 NC 常闭） **失效需保持通路工艺
-BP 背压专用密封结构 负压、高真空系统

五、FP-51 vs FP-71 核心区别

对比项 FP-51（本系列） FP-71（UJR 接头款）
管路连接 插焊焊接式，密封 UJR 金属垫片快装接头，可拆装
机身尺寸 小型轻量化，机台紧凑布置 标准尺寸，管路后期维护拆装
拆装特性 焊接固定，不可重复拆卸 无需焊接，接头可反复拆装
适用场景 设备内置固定管路、真空腔体内置阀 供气柜、可维护工艺主管路

六、典型应用场景

  1. 半导体晶圆设备机台内置焊接工艺气路（SiH₄、NF₃、Cl₂腐蚀气体）

  2. 真空镀膜、离子注入腔体内置切断阀，长期高真空保压

  3. 实验室特种气体焊接管路、锂电设备高纯氮气吹扫管线

  4. 面板、光伏沉积设备狭小腔体内置隔离阀

  5. 腐蚀性微量化工气体无泄漏切断控制