1. F900 双卡套压缩接头，替代 UJR / 焊接，现场拆装无需专用工具，重复拆装不漏气

2. SUS316L 一体阀体 + 金属波纹管，内外漏率≤5×10⁻¹² Pa・m³/s，适配硅烷、氯气、NF₃等危险气体

3. 标准常闭 NC，可选常开 NO；驱动气源 0.4~0.7MPa 洁净干燥空气

4. 全规格出厂禁油，可选 UP 超高纯电解抛光、ND 低微粒洁净升级

5. *大通径 19.05mm，Cv *高 2.8，满足大流量高纯气体主切断需求

二、通用基础参数

三、FP-91 标准直通型号清单

FP-51/FP-71/FP-91 三系列核心对比

七、典型应用场景

1. 半导体晶圆设备主工艺气体总管（大流量 N₂、Ar、SiH₄、NF₃输送切断）

2. 光伏、面板沉积设备大口径高纯气路自动切断阀

3. 实验室特种气体供气柜、防爆有毒气体管路

4. 大型真空镀膜机主进气隔离阀，长期高真空保压

5. 锂电制造设备高纯氮气吹扫大流量主管路