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日本NMS野村微水超纯水防静电装置
产品型号: N4C-1.0
产品简介:

野村超纯水带电防止装置、CO₂溶入式纯水除静电装置,18.2MΩ・cm 超纯水离子极少、绝缘性ji强,高速喷淋 / 流动时极易摩擦起电;静电会造成晶圆 ESD 击穿、颗粒吸附、良率下降。 野村 WAC 原理: 定量、精准向超纯水内溶解高纯 CO₂

详细介绍

日本进口NMS野村微水超纯水防静电装置

该系统可将二氧化碳定量溶解于超纯水中,**控制超纯水的电阻率,从而防止半导体制造的切割工艺和FPD制造的高压清洗工艺中出现各种静电干扰。与传统型号相比,该系统更轻便、更紧凑。它提供机架式和柜式两种型号,机架式型号可集成到清洗设备中,柜式型号可容纳两个二氧化碳钢瓶。

由于它是直接喷射系统,因此设计上不会产生任何废气或废水。

特征

  • 超纯水流量:200-1000/小时、200-2000/小时、300-3000/小时

  • 可控电阻率范围:0.11–1.9 MΩcm

  • 控制精度:设定电阻率为±0.03 MΩ・cm(流量和水压恒定时)

  • 电源:AC100~130V,AC220~240V,50/60Hz,1A

  • 尺寸

    • 货架类型:宽480毫米 x 深430毫米 x 高250毫米

    • 柜体类型:宽430毫米 x 深430毫米 x 高1350毫米

产品全称:スーパーバブラー WAC(Super Bubbler WAC)
命名规则:N4R = Rack 机架嵌入式(外接 CO₂钢瓶,装入清洗机 / 切割机机柜)N4C = Cabinet 独立柜式(柜体内部可内置 2 支 CO₂钢瓶)后缀 1.0/2.0/3.0 = *大处理流量等级

一、机架型 N4R(机台内置款)

标准型号 处理流量范围 典型应用场景
N4R-1.0 200~1000 L/h 单台晶圆切割机、小型高压清洗机
N4R-2.0 200~2000 L/h 多轴划片机、中型湿法喷淋清洗设备
N4R-3.0 300~3000 L/h 大流量喷淋、多机共用支路供水
延伸订货后缀说明(外贸 / 采购常用)
  • -50:AC220V 50Hz(中国大陆标配)

  • -60:AC220V 60Hz / AC100V(日系原厂电压)

二、独立柜式 N4C(落地独立柜体)

标准型号 处理流量范围 特点
N4C-1.0 200~1000 L/h 自带气瓶仓,无需外部钢瓶放置区
N4C-2.0 200~2000 L/h 产线集中供给小型机台集群
N4C-3.0 300~3000 L/h 大流量集中供水方案
  • 电阻率控制区间:0.11~1.9 MΩ·cm

  • 控制精度:±0.03 MΩ・cm

  • *大进水压力:0.5 MPa

  • 方式:CO₂直接喷射溶解式,无中空纤维膜耗材

  • 通讯:支持警报信号输出,可对接机台 PLC

典型应用场景

  • 半导体:晶圆 Dicing 切割机(划片)喷淋纯水防静电、晶圆高压冲洗、湿法清洗

  • FPD 显示:面板高压喷淋清洗

  • 功率器件、光学元件超纯水喷淋制程

行业标配:晶圆切割工序几乎普遍采用野村 Super Bubbler WAC 或同原理竞品(NGK MEGCON)