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日本KOHZU神津精机电动精密 X/XY平台
产品型号: SXA1075-R01
产品简介:

传动:精密研磨滚珠丝杠 + 交叉滚子预紧导轨;标配 5 相步进电机,可选 2 相步进、光栅闭环;支持洁净室 C / 真空 V润滑规格

详细介绍

日本进口KOHZU神津精机 电动精密 X/XY 平台
XA 系列:紧凑型单轴 X 平台(短行程微型)|YA 系列:一体化双层 XY 平台(出厂预装十字结构,无需堆叠)

SXA 系列:长行程重载单轴 X 平台|SYA 系列:一体化长行程 XY 平台
特点:

●新产品: “SX Stage "系列成本低、精度高、交货期短。
●长冲程自动 X 平台,带交叉滚柱导轨。
●使用清洁油脂。
●进料系统使用滚珠螺杆,经久耐用。
●使用 5 相步进电机。
●区域(基准)传感器用于归位,光线始终进入 CW 侧。
●建议使用 KOSMOS 系列控制器。
●超高分辨率型使用一根电缆,可连接 5 条电机导线。

一、型号命名规则(选型关键)

  1. 前缀

  • XA:微型短行程 单轴 X

  • YA:XA 同源 一体化 XY

  • SXA:标准 / 长行程 单轴 X

  • SYA:SXA 同源 一体化 XY

  1. 数字:台面尺寸(04=40mm、05=50mm、07=70mm、10=100mm)

  2. 后缀行程代码

  • R:短行程;L:长行程;RH:高刚性型

  1. 环境后缀

  • -R:标准通用润滑

  • -C:无尘洁净润滑(Class1000)

  • -V:真空低析出润滑

  • -BM:2 相电机版本;无 BM=5 相东方马达标配

  • -R末尾:镜像反向安装机型

二、主流型号参数总表

1)XA 微型单轴 X 平台(40/50/70 台面,光学耦合、显微载台shou选)

型号 台面尺寸 有效行程 重复定位 微步分辨率 水平承载 *高速度
XA04A-R102 40×40mm ±5mm ±0.2μm 0.05μm 3kgf 5mm/s
XA05A-R202 50×50mm ±7.5mm ±0.2μm 0.05μm 5kgf 5mm/s
XA07A-R202 70×70mm ±10mm ±0.2μm 0.05μm 10kgf 6mm/s

2)YA 一体化 XY 平台(XA 双层一体,整机高度更低,免装配调试)

型号 台面尺寸 X/Y 行程 重复定位 微步分辨率 承载 整机高度
YA04A-R101 40×40mm ±5mm ±0.2μm 0.05μm 2.5kgf 62mm
YA05A-R201 50×50mm ±7.5mm ±0.2μm 0.05μm 4.5kgf 74mm
YA07A-R202 70×70mm ±10mm ±0.2μm 0.05μm 9kgf 82mm

3)SXA 标准 / 长行程单轴 X 平台(扫描检测、大范围定位主力)

型号 台面尺寸 有效行程 重复定位 微步分辨率 水平承载 *高速度
SXA0530-R01 50×60mm ±15mm ±0.3μm 0.05μm 15kgf 10mm/s
SXA0750-R01 75×100mm ±25mm ±0.3μm 0.05μm 20kgf 10mm/s
SXA0775-R02 75×100mm ±37.5mm ±0.3μm 0.05μm 18kgf 10mm/s
SXA1075-R01 100×120mm ±37.5mm ±0.3μm 0.05μm 25kgf 10mm/s

4)SYA 一体化长行程 XY 平台(SXA 双层一体,产线自动化常用)

型号 台面尺寸 X/Y 行程 重复定位 微步分辨率 承载 整机高度
SYA0530-R01 50×60mm ±15mm ±0.3μm 0.05μm 14.5kgf 92mm
SYA0750-R01 75×100mm ±25mm ±0.3μm 0.05μm 19kgf 105mm
SYA1075-R01 100×120mm ±37.5mm ±0.3μm 0.05μm 23kgf 118mm
补充说明:想要更大行程 ±50~±200mm 选用 XA16F / XA20F、SYA16F/SYA20F 重载系列,承载*高可达 100kgf;若需要真空腔体使用,选用 MVXA / MVYA 真空专用系列。

典型运用场景

1. 半导体行业(*大应用市场)

  1. 晶圆外观缺陷检测、膜厚测量 XY 载台

  2. 探针台、固晶机、倒装芯片二维精密对位

  3. 真空镀膜、溅射设备基板定位(选用 - V 真空规格)

  4. SiC/GaN 第三代半导体显微观测平台

  5. Mini/Micro LED 芯片检测、像素校准

2. 光通信 & 光学系统

  1. 光模块、光纤阵列、无源器件 XY 自动耦合对准

  2. 激光加工、激光准直、干涉仪光路微调

  3. 显微系统样品二维扫描平台

微型 40/50/70 台面 YA07A、XA07A 出货量*高

3. 精密检测仪器

  1. 白光干涉仪、激光轮廓仪样品移动平台

  2. PCB、FPC 线路自动光学检测(AOI)

  3. 材料表面形貌、薄膜镀层自动化扫描

4. 科研实验室

同步辐射、XRD 衍射、光谱仪器样品定位;光学平台自动化位移模组