成为连接全球半导体资源 与国内终端需求的核心桥梁
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✅ 核心特点：出厂预装配双层十字结构，正交度出厂校准；上下轴行程可不对称选配（区别小台面 YA04/05/07 固定对称行程）；基座钢材、台面铝合金；精密滚珠丝杠 + 线性导轨；标配 5 相步进电机。
YA：一体化双层 XY 平台（一体成型，无需现场堆叠）
16：台面尺寸 160×160mm
F：大型长行程重载系列
L23xxx：行程代码；-RRR = 电机反向镜像机型
润滑后缀可选：-R 标准 /-C 洁净室 /-V 真空规格
传动机构：精密研磨滚珠丝杠，导程 5mm
导轨：高精度直线导轨（区别小型 YA 系列交叉滚子导轨）
驱动：标配东方马达 5 相步进电机；可选闭环光栅尺
分辨率
整步：10 μm；半步：5 μm
1/20 微步分割：0.5 μm
*高移动速度：50 mm/s（AC100V 驱动器）
背隙 ≤ 2 μm；空程 ≤5 μm
正交度：≤10 arcsec
直线度：4～5μm/100~304mm（随行程变化）
可选升级：外置光栅闭环、防尘护罩、真空润滑、洁净规格