• XA：单轴电动直线平台

• 16：台面规格 160×160mm

• F：长行程高刚性重载机型

  定位：中型大行程单轴滑台；介于小型 SXA 系列与重型 XA20F 之间；可两台堆叠组成 XY、立式安装充当长行程 Z 轴。

  导轨采用高精度线性导轨（区别 XA/YA 小型系列交叉滚子导轨），基座钢材、台面铝合金，刚性强，适合大面积基板扫描、中等负载大范围精密定位。

一、型号命名规则

• L：长行程系列

• L21 / L22 / L23：行程代码

• 末尾 01：标准电机；-R = 电机反向镜像机型

  环境润滑后缀可选：

  -R标准润滑 / -CClass1000 洁净室 / -V真空低析出润滑

  选配：电磁刹车、外置光栅尺闭环、防尘护罩

二、主流型号参数总表

三、全系通用技术规格

1. 导向机构：精密线性导轨

2. 传动：预压研磨滚珠丝杠，导程 5mm

3. 驱动电机：标配东方马达 5 相步进电机；可选电磁刹车、2 相电机

4. 分辨率

• 整步：10 μm；半步：5 μm

• 1/20 微步分割：0.5 μm

5. *高移动速度：50 mm/s（AC100V 驱动器）

6. 机械性能指标

• 背隙 ≤2 μm；空程 ≤5 μm

• 直线度：≤4~5μm（随行程变化）

• 原点传感器 + 两端硬限位、软限位

7. 材质：底座钢材、移动台面铝合金

8. 拓展升级：加装外置光栅尺实现闭环，消除丝杠回程与累积误差