• YA：一体化双层十字 XY 电动平台

• 16：台面规格 160×124mm

• A：高精度交叉滚子导轨精密系列（核心区分 YA16F）

核心关键区别：✅ YA16A：交叉滚子导轨、短行程 ±30mm、超高直线度、亚微米级重复定位、铝合金机身❗ YA16F：直线导轨、大行程*高 ±152mm、重载蒙布朗系列二者不能互相替代；YA16A 偏向高精度定点对位、光学耦合、显微扫描；YA16F 偏向大范围基板扫描。

型号命名规则

• R101：丝杆导程 1mm（超高分辨率版本）

• R202：丝杆导程 2mm（速度优先版本）

• -RRR：电机镜像反向安装机型

  环境后缀可选：

  -R标准润滑 / -CClass1000 洁净室 / -V真空低析出润滑

  选配：2 相电机 -BM、外置光栅闭环、原点传感器

主流型号参数总表

YA16A 全系通用技术规格

1. 导轨：预紧精密交叉滚子导轨（无间隙、俯仰 / 偏摆误差极小，光学级标配）

2. 传动：精密研磨滚珠丝杠

3. 驱动：标配东方马达 5 相步进电机；可选 -BM 2 相步进电机

4. 机械精度指标

• 背隙 ≤0.5~1μm

• 空程 ≤2μm

• 水平直线度 ≤1μm/60mm；垂直直线度 ≤2μm/60mm

• 累积定位误差 ≤6~10μm（全行程）

5. 材质：铝合金本体，白色哑光阳极氧化

6. 限位：内置原点光电传感器 + 机械硬限位

典型运用场景

1. 光通信行业（主力场景）

2. 半导体精密封装与检测

1. 固晶机、倒装芯片、微型元器件 XY 精密对位

2. 显微探针测试平台、芯片微观缺陷观测扫描

3. Mini/Micro LED 芯片像素检测、光学校准

3. 精密光学仪器

4. 真空 / 无尘设备